カーボンナノチューブを備えた金属ワイヤー又はキャピラリー及びカーボンナノチューブの形成方法

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003274612
Publication number (International publication number)：2005035841
Application date： Jul. 15, 2003
Publication date： Feb. 10, 2005
Summary：

【課題】本発明は、本発明は、大掛かりな真空システムを必要とせず、またマイクロメーターオーダーの石英キャピラリー中で、ほぼ大気圧下でプラズマを発生させることができるマイクロプラズマを利用して、非平坦面である金属ワイヤー表面上又は石英キャピラリー内壁上などに、カーボンナノチューブを成長させる技術を提供することを目的とする。【解決手段】ガラス等のセラミックス材料、ポリマー等のプラスチックス材料等の誘電体物質からなるキャピラリー内部に、マイクロプラズマを発生させると共に、カーボンナノチューブの原料となる材料を導入して、キャピラリー内壁面にカーボンナノチューブを形成するカーボンナノチューブの形成方法及びこれによって得られたカーボンナノチューブを備えた金属ワイヤー又はキャピラリー【選択図】図2

Claim (excerpt)：

金属ワイヤー表面又はガラス等のセラミックス材料、ポリマー等のプラスチックス材料等の誘電体物質からなるキャピラリー内壁面に、1又は複数のカーボンナノチューブを備えていることを特徴とする金属ワイヤー又はキャピラリー。

IPC (4)：

C01B31/02 , B82B1/00 , B82B3/00 , C23C16/26

FI (4)：

C01B31/02 101F , B82B1/00 , B82B3/00 , C23C16/26

F-Term (17)：

4G146AA11 , 4G146BA12 , 4G146BA40 , 4G146BA48 , 4G146BC09 , 4G146BC16 , 4G146BC23 , 4G146DA03 , 4G146DA16 , 4K030AA10 , 4K030BA27 , 4K030BB00 , 4K030CA05 , 4K030CA15 , 4K030FA00 , 4K030FA01 , 4K030FA17

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

カーボンナノチューブ薄膜形成ECRプラズマCVD装置及び該薄膜の形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-000299 Applicant：日本真空技術株式会社
カーボンナノチューブの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-346358 Applicant：新日本無線株式会社
成膜方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-334404 Applicant：株式会社アルバック, 独立行政法人産業技術総合研究所

Cited by examiner (2)

カーボンナノチューブ、カーボンナノチューブ膜、カーボンナノチューブ膜付SiC基板、並びにカーボンナノチューブ付ウィスカー及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-059295 Applicant：財団法人ファインセラミックスセンター
カーボンナノ繊維固着体の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-100633 Applicant：日産自動車株式会社

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