蒸着組成物の製造方法、蒸着組成物及び反射防止膜を有する光学部品の製造方法

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大谷保
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000364928
Publication number (International publication number)：2002169002
Application date： Nov. 30, 2000
Publication date： Jun. 14, 2002
Summary：

【要約】【課題】低温条件下で蒸着しても、高屈折率層を形成でき、耐擦傷性、耐薬品性及び耐熱性が良好で、かつ経時的な耐熱性の低下が小さい反射防止膜を得ることができる蒸着組成物の製造方法、蒸着組成物及び反射防止膜を有する光学部品の製造方法を提供する。【解決手段】二酸化チタン及び五酸化ニオブを含有する蒸着原料を混合して得られた蒸着原料混合物を焼結することを特徴とする蒸着組成物の製造方法、並びに二酸化チタン及び五酸化ニオブを含有することを特徴とする蒸着組成物、該蒸着組成物の蒸気を発生させ、発生した蒸発物を基板上に析出させて反射防止膜の高屈折率層を形成することを特徴とする反射防止膜を有する光学部品の製造方法である。

Claim (excerpt)：

二酸化チタン及び五酸化ニオブを含有する蒸着原料を混合して得られた蒸着原料混合物を焼結することを特徴とする蒸着組成物の製造方法。

IPC (5)：

G02B 1/11 , B32B 9/00 , B32B 31/00 , C23C 14/08 , C23C 14/24

FI (5)：

B32B 9/00 A , B32B 31/00 , C23C 14/08 K , C23C 14/24 E , G02B 1/10 A

F-Term (27)：

2K009AA08 , 2K009AA09 , 2K009AA15 , 2K009BB02 , 2K009BB24 , 2K009CC03 , 2K009CC42 , 2K009DD02 , 2K009DD03 , 4F100AA17A , 4F100AA21A , 4F100AG00B , 4F100AK01B , 4F100AT00B , 4F100BA02 , 4F100EH66A , 4F100EH662 , 4F100GB90 , 4F100JN06 , 4F100JN18 , 4K029AA09 , 4K029AA11 , 4K029BA50 , 4K029BC07 , 4K029BC08 , 4K029BD00 , 4K029DB05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

蒸着材料及び該蒸着材料を用いた光学薄膜の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-066041 Applicant：キヤノン株式会社, 株式会社オプトロン
反射防止膜を有する光学部材、蒸着膜の形成方法及び蒸着組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-163814 Applicant：ホーヤ株式会社
特開平2-096701

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