Pat
J-GLOBAL ID：200903089404152846

(メタ)アクリル酸系重合体および感放射線性樹脂組成物

Inventor：
西村 幸生

About 西村 幸生

, 
千葉 隆

About 千葉 隆


Applicant, Patent owner：
JSR株式会社

About JSR株式会社


Agent (1)： 和気 操
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004066461
Publication number (International publication number)：2005255742
Application date： Mar. 10, 2004
Publication date： Sep. 22, 2005
Summary：
【課題】 現像工程におけるパターン側壁の膨潤およびパターン倒れなどがない感放射線性樹脂組成物およびこの組成物に用いることができる(メタ)アクリル酸系重合体を提供する。【解決手段】 (メタ)アクリル酸系重合体は下記式(1)で表される繰り返し単位を含有し、酸の作用によりアルカリ液に対する溶解性を制御できることを特徴とする。【化1】(式中、R1 は水素原子またはメチル基を、各R2 は互いに独立に炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状の置換基を有していてもよいアルキル基、炭素数4〜20の脂環式のアルキル基、または、2つのR2 が互いに結合し炭素数4〜9の脂環式骨格を有する1価の炭化水素基を表し、Xは炭素数1〜12の直鎖状もしくは分岐状の連結基、または、炭素数6〜20の脂環式の連結基を表し、nは1〜3の整数を表す)【選択図】 無
Claim (excerpt)：
下記式(1)で表される繰り返し単位を含有し、酸の作用によりアルカリ液に対する溶解性を制御できる(メタ)アクリル酸系重合体。
IPC (5)：
C08F20/28 ,  C08K5/36 ,  C08L33/14 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027
FI (5)：
C08F20/28 ,  C08K5/36 ,  C08L33/14 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R
F-Term (32)：
2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  4J002BG041 ,  4J002BG051 ,  4J002EV296 ,  4J002FD206 ,  4J002GT00 ,  4J100AL08P ,  4J100BA02P ,  4J100BA03P ,  4J100BA04P ,  4J100BA11P ,  4J100BB17P ,  4J100BC08P ,  4J100BC09P ,  4J100BC12P ,  4J100BC53P ,  4J100CA01 ,  4J100CA03 ,  4J100DA39 ,  4J100JA00
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (5)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM