電子放出素子及びその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner： , ,
Agent (1)：山本秀策
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999005868
Publication number (International publication number)：2000208028
Application date： Jan. 12, 1999
Publication date： Jul. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】カーボンナノチューブなどの針状の冷陰極部材を十分な生産性で2次元アレイ状に配設して、電界放出型電子エミッタとして機能させることができる構成を有する電子放出素子、及びそのような電子放出素子の生産性に優れた製造方法を提供する。【解決手段】電子放出素子が、支持部材と、該支持部材の上に形成された電極と、該支持部材の表面及び該電極を覆うように形成された保持部材と、該保持部材に保持されている複数の針状構造の冷陰極部材と、を備えており、該冷陰極部材の各々は、その一端が該保持部材に挿入されており、他の一端は、該保持部材の外部に突出している。

Claim (excerpt)：

支持部材と、該支持部材の上に形成された電極と、該支持部材の表面及び該電極を覆うように形成された保持部材と、該保持部材に保持されている複数の針状構造の冷陰極部材と、を備えており、該冷陰極部材の各々は、その一端が該保持部材に挿入されており、他の一端は、該保持部材の外部に突出している、電子放出素子。

IPC (4)：

H01J 1/304 , H01J 9/02 , H01J 29/04 , H01J 31/12

FI (4)：

H01J 1/30 F , H01J 9/02 B , H01J 29/04 , H01J 31/12 C

F-Term (11)：

5C031DD09 , 5C031DD17 , 5C031DD19 , 5C036EE01 , 5C036EE14 , 5C036EF01 , 5C036EF06 , 5C036EF09 , 5C036EG12 , 5C036EH08 , 5C036EH11

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

電界放出型冷陰極装置、その製造方法及び真空マイクロ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-249096 Applicant：株式会社東芝
電子放出素子およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-161506 Applicant：日本電気株式会社
電界放出陰極及びその形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-342416 Applicant：三菱電機株式会社

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