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J-GLOBAL ID：200903089965407312

光活性化合物および感光性樹脂組成物

Inventor：
花畑 誠

About 花畑 誠

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佐藤 正洋

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片山 淳子

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北島 さつき

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丹羽 淳

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Applicant, Patent owner：
株式会社関西新技術研究所

About 株式会社関西新技術研究所


Agent (1)： 鍬田 充生
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002094756
Publication number (International publication number)：2002363123
Application date： Mar. 29, 2002
Publication date： Dec. 18, 2002
Summary：
【要約】【課題】 レジスト用途において、短波長の光源に対しても高感度であり、高解像度でパターンを形成するのに有用な光活性化合物を得る。【解決手段】 光活性化合物は、下記式(1)で表され、感光剤と組み合わせて使用される。A-[(J)m-(X-Pro)]n (1)(式中、Aは、炭化水素基及び複素環基から選択された少なくとも一種の疎水性基で構成された疎水性ユニットを示し、Jは連結基を示し、X-Proは光照射に起因して脱離可能な保護基Proで保護された親水性基を示す。mは0又は1、nは1以上の整数である)前記保護基Proは、光照射により、感光剤(特に酸発生剤)と関連して脱離可能であってもよく、疎水性保護基であってもよい。親水性基は、ヒドロキシル基、カルボキシル基などであってもよい。
Claim (excerpt)：
感光剤と組み合わせて用いられる光活性化合物であって、下記式(1)で表される光活性化合物。A-[(J)m-(X-Pro)]n (1)(式中、Aは、炭化水素基及び複素環基から選択された少なくとも一種の疎水性基で構成された疎水性ユニットを示し、Jは連結基を示し、X-Proは光照射に起因して脱離可能な保護基Proで保護された親水性基を示す。mは0又は1、nは1以上の整数である)
IPC (11)：
C07C 43/303 ,  C07C 69/734 ,  C07C 69/736 ,  C07C 69/76 ,  C07C 69/773 ,  C07C 69/92 ,  C07C 69/96 ,  C07C317/22 ,  C07F 7/08 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027
FI (12)：
C07C 43/303 ,  C07C 69/734 Z ,  C07C 69/736 ,  C07C 69/76 Z ,  C07C 69/773 ,  C07C 69/92 ,  C07C 69/96 Z ,  C07C317/22 ,  C07F 7/08 C ,  C07F 7/08 K ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R
F-Term (30)：
2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CC20 ,  2H025FA12 ,  4H006AA01 ,  4H006AA03 ,  4H006AB76 ,  4H006BJ50 ,  4H006BM10 ,  4H006BM71 ,  4H006BN30 ,  4H006BP10 ,  4H006BP30 ,  4H049VN01 ,  4H049VP01 ,  4H049VQ03 ,  4H049VQ04 ,  4H049VQ28 ,  4H049VR24 ,  4H049VU29
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (15)
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