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J-GLOBAL ID：200903090145599371

円筒状部材の内周面への硬質カーボン膜形成方法

Inventor： 杉山 修 ,  宮 行男 ,  小池 ▲龍▼太 ,  戸井田 孝志 ,  関根 敏一
Applicant, Patent owner： シチズン時計株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997002567
Publication number (International publication number)：1998195635
Application date： Jan. 10, 1997
Publication date： Jul. 28, 1998
Summary：

【要約】【課題】 内周面に形成する硬質カーボン膜との膜厚分布の発生がなく、開口端面と開口中側とで均一な膜厚で形成し、さらに密着性を向上させる。【解決手段】 円筒状部材11の開口内に補助電極電源35に接続しグラファイトカーボンからなる補助電極23を挿入するように円筒状部材を真空槽13内に配置し、円筒状部材11は直流電源25から直流負電圧を印加し、真空槽13内を排気後、ガス導入口15からアルゴンガスを導入し、補助電極電源35から直流負電圧を補助電極23に印加して円筒状部材11の開口内の補助電極23の周囲にプラズマを発生させ円筒状部材11の内周面に硬質カーボン膜を形成する。

Claim (excerpt)：

円筒状部材の開口内に補助電極電源に接続しグラファイトカーボンからなる補助電極を挿入するように円筒状部材を真空槽内に配置し、円筒状部材は直流電源から直流負電圧に接続し、真空槽内を排気後、ガス導入口からアルゴンガスを導入し、補助電極電源から直流負電圧を補助電極に印加して円筒状部材の開口内の補助電極の周囲にプラズマを発生させ、補助電極を構成するグラファイトカーボンをスパッタリングすることによって円筒状部材の内周面に硬質カーボン膜を形成することを特徴とする円筒状部材の内周面への硬質カーボン膜形成方法。

IPC (2)：

C23C 14/06 ,  C23C 14/34

FI (2)：

C23C 14/06 B ,  C23C 14/34 T

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (14)

• 特開昭63-079962
  
• 特開昭64-046221
  
• 磁気記録媒体の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-132332   Applicant：富士電機株式会社
• 特開平2-282470
  
• 特開平2-156087
  
• 円筒内面のドライコーティング方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-070002   Applicant：住友重機械工業株式会社
• 特開平4-107268
  
• 特表平3-504254
  
• 特開昭62-136568
  
• 特開昭62-182271
  
• 薄膜形成用炭素ターゲット材及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-061819   Applicant：日清紡績株式会社
• スパッタリング装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-261776   Applicant：株式会社島津製作所
• 円筒状部材の内周面への被膜形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-274878   Applicant：シチズン時計株式会社
• 円筒状部材の内周面への被膜形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-272698   Applicant：シチズン時計株式会社