Pat
J-GLOBAL ID：200903090149527227

石英ガラス部品及びセラミック部品並びにそれらの製造方法

Inventor：
高橋 小弥太

About 高橋 小弥太

, 
岡本 美智雄

About 岡本 美智雄

, 
阿部 昌則

About 阿部 昌則


Applicant, Patent owner：
東ソー株式会社

About 東ソー株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002305754
Publication number (International publication number)：2003212598
Application date： Oct. 21, 2002
Publication date： Jul. 30, 2003
Summary：
【要約】【課題】半導体等のプレクリーニング装置や成膜装置に用いられる石英ガラス部品およびセラミック部品では、その使用中に部品自体の剥離、部品表面に付着する膜状物質の剥離、及びプラズマによる部品表面の腐食による製品の汚染、並びに部品の短寿命化及び頻繁な部品交換による生産性の低下等の問題があった。【解決の手段】半導体等の成膜装置及びプレクリーニング装置に用いる石英ガラス及びセラミックの部品において、表面がセラミック溶射膜で被覆され、なおかつ表面粗さRaが5〜20μmに制御されたものは膜状物質の付着性が高く、表面粗さRaが1〜5μmに制御されたものでは耐プラズマ性が高く、さらにセラミック溶射膜を形成する基材の表面に溶射膜に対するアンカー効果の大きい溝形状を形成したものでは基材に対するセラミック溶射膜自体の剥離がなく、耐久性が高い。
Claim (excerpt)：
石英ガラス基材上に表面粗さRaが5〜20μmで相対密度が70〜97%であるセラミック溶射膜が形成されていることを特徴とする石英ガラス部品。
IPC (6)：
C03C 17/25 ,  C03C 19/00 ,  C04B 41/87 ,  C04B 41/91 ,  C23C 4/02 ,  C23C 4/10
FI (7)：
C03C 17/25 A ,  C03C 19/00 A ,  C04B 41/87 J ,  C04B 41/91 B ,  C04B 41/91 D ,  C23C 4/02 ,  C23C 4/10
F-Term (22)：
4G059AA08 ,  4G059AA20 ,  4G059AC01 ,  4G059EA01 ,  4G059EA07 ,  4G059EB05 ,  4K031AA01 ,  4K031AA08 ,  4K031AB02 ,  4K031AB07 ,  4K031BA01 ,  4K031BA02 ,  4K031BA04 ,  4K031CB01 ,  4K031CB18 ,  4K031CB41 ,  4K031CB42 ,  4K031CB43 ,  4K031DA04 ,  4K031EA01 ,  4K031EA12 ,  4K031FA01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (7)
Show all
Cited by examiner (5)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM