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J-GLOBAL ID：200903080612947375

耐ハロゲンガスプラズマ用部材およびその製造方法

Inventor：
山田 裕丈

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大橋 玄章

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勝田 祐司

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原田 昌史

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桝田 昌明

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伊藤 重則

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Applicant, Patent owner：
日本碍子株式会社

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Agent (1)： 杉村 興作 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001110136
Publication number (International publication number)：2002249864
Application date： Apr. 09, 2001
Publication date： Sep. 06, 2002
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】ハロゲンガスのプラズマに曝露される耐ハロゲンガスプラズマ用部材であって、腐食によるパーティクルがプラズマ容器内の空間に浮遊したり、容器内の他の部材上に落下、堆積しにくいようにする。【解決手段】耐ハロゲンガスプラズマ用部材は、部材の本体と、本体の少なくとも表面に形成されている耐蝕膜とを備えており、耐蝕膜の前記本体に対する剥離強度が15MPa以上である。耐食膜はイットリウム、ジルコニウムの化合物を含む材料の溶射膜である。溶射膜を更に、1400°C以上で焼結したり、化学的気相成長法によって耐蝕膜を更に堆積したりして、耐食膜の気密性を改善することができる。
Claim (excerpt)：
ハロゲンガスのプラズマに曝露される耐ハロゲンガスプラズマ用部材であって、部材の本体と、この本体の少なくとも表面に形成されている耐蝕膜とを備えており、前記耐蝕膜の前記本体に対する剥離強度が15MPa以上であることを特徴とする、耐ハロゲンガスプラズマ用部材。
IPC (8)：
C23C 4/10 ,  B01J 19/00 ,  B01J 19/08 ,  C23C 4/18 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/31
FI (9)：
C23C 4/10 ,  B01J 19/00 L ,  B01J 19/08 F ,  B01J 19/08 H ,  C23C 4/18 ,  C23C 16/44 J ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 C ,  H01L 21/302 B
F-Term (36)：
4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075AA53 ,  4G075BC01 ,  4G075BC04 ,  4G075BC06 ,  4G075CA47 ,  4G075FB01 ,  4G075FB02 ,  4G075FB04 ,  4G075FC09 ,  4K030KA08 ,  4K030KA46 ,  4K030KA47 ,  4K031AA08 ,  4K031CB09 ,  4K031CB42 ,  4K031CB43 ,  4K031CB49 ,  4K031FA00 ,  4K031FA01 ,  5F004AA15 ,  5F004BA00 ,  5F004BB29 ,  5F004DA01 ,  5F004DA17 ,  5F004DA20 ,  5F004DA26 ,  5F004DA29 ,  5F045AA08 ,  5F045AB02 ,  5F045AC02 ,  5F045AC05 ,  5F045BB15 ,  5F045EB03 ,  5F045EB06
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (25)
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