Pat
J-GLOBAL ID：200903090222308784

レーザを用いたガラスの加工方法および加工装置

Inventor：
小用 広隆

About 小用 広隆

, 
常友 啓司

About 常友 啓司

, 
小路谷 将範

About 小路谷 将範


Applicant, Patent owner：
日本板硝子株式会社

About 日本板硝子株式会社


Agent (2)： 鎌田 耕一 ,  黒田 茂
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007042947
Publication number (International publication number)：2008156200
Application date： Feb. 22, 2007
Publication date： Jul. 10, 2008
Summary：
【課題】ガラスに微小な孔や溝を容易かつ安価に形成できる加工方法を提供する。【解決手段】工程(i)では、波長λのレーザパルス11をレンズで集光してガラス板12に照射することによって、そのガラス板12のうちレーザパルス11が照射された部分に変質部13を形成する。次に、工程(ii)では、そのガラス板12に対するエッチングレートよりも変質部13に対するエッチングレートが大きいエッチング液を用いて少なくとも変質部13をエッチングすることによりガラス板12に孔を形成する。上記レーザパルス11のパルス幅は、1ns〜200nsの範囲にある。波長λは535nm以下、波長λにおけるガラス板12の吸収係数は50cm-1以下である。レンズの焦点距離L(mm)をレンズに入射する際のレーザパルス11のビーム径D(mm)で除した値は、7以上である。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
(i)波長λのレーザパルスをレンズで集光してガラスに照射することによって、前記ガラスのうち前記レーザパルスが照射された部分に変質部を形成する工程と、 (ii)前記ガラスに対するエッチングレートよりも前記変質部に対するエッチングレートが大きいエッチング液を用いて少なくとも前記変質部をエッチングすることにより前記ガラスに孔を形成する工程とを含み、 前記レーザパルスのパルス幅が1ns〜200nsの範囲にあり、 前記波長λが535nm以下であり、 前記波長λにおける前記ガラスの吸収係数が50cm-1以下であり、 前記レンズの焦点距離L(mm)を、前記レンズに入射する際の前記レーザパルスのビーム径D(mm)で除した値が7以上である、ガラスの加工方法。
IPC (5)：
C03C 23/00 ,  B23K 26/38 ,  B23K 26/40 ,  C03C 15/00 ,  C03C 3/087
FI (5)：
C03C23/00 D ,  B23K26/38 330 ,  B23K26/40 ,  C03C15/00 Z ,  C03C3/087
F-Term (103)：
4E068AA01 ,  4E068AF00 ,  4E068CA01 ,  4E068CA03 ,  4E068CA07 ,  4E068CA11 ,  4E068CA17 ,  4E068DB13 ,  4G059AA08 ,  4G059AB11 ,  4G059AC01 ,  4G059BB04 ,  4G059BB12 ,  4G059BB13 ,  4G062AA01 ,  4G062BB02 ,  4G062BB03 ,  4G062BB06 ,  4G062CC10 ,  4G062DA06 ,  4G062DB03 ,  4G062DB04 ,  4G062DC01 ,  4G062DC02 ,  4G062DC03 ,  4G062DD01 ,  4G062DE01 ,  4G062DE02 ,  4G062DE03 ,  4G062DE04 ,  4G062DF01 ,  4G062EA01 ,  4G062EA02 ,  4G062EA03 ,  4G062EB03 ,  4G062EB04 ,  4G062EC01 ,  4G062EC02 ,  4G062EC03 ,  4G062ED01 ,  4G062ED02 ,  4G062ED03 ,  4G062ED04 ,  4G062EE03 ,  4G062EE04 ,  4G062EF01 ,  4G062EF02 ,  4G062EF03 ,  4G062EG01 ,  4G062EG02 ,  4G062EG03 ,  4G062FA01 ,  4G062FA10 ,  4G062FB01 ,  4G062FB02 ,  4G062FB03 ,  4G062FB04 ,  4G062FC01 ,  4G062FC02 ,  4G062FC03 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062FL02 ,  4G062FL03 ,  4G062GA01 ,  4G062GA10 ,  4G062GB01 ,  4G062GB02 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062HH01 ,  4G062HH03 ,  4G062HH05 ,  4G062HH07 ,  4G062HH08 ,  4G062HH09 ,  4G062HH10 ,  4G062HH11 ,  4G062HH12 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH17 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ03 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ07 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK01 ,  4G062KK03 ,  4G062KK05 ,  4G062KK07 ,  4G062KK10 ,  4G062MM01 ,  4G062MM04 ,  4G062NN40
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
Show all
Cited by examiner (2)

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM