圧電/電歪デバイス及びその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：千葉剛宏 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000297793
Publication number (International publication number)：2002026412
Application date： Sep. 29, 2000
Publication date： Jan. 25, 2002
Summary：

【要約】【課題】圧電/電歪素子デバイスの長寿命化及び可動部の変位の増大化と高速化(高共振周波数化)を達成させると共に、圧電/電歪素子デバイスのハンドリング性並びに可動部への部品の取付性又は圧電/電歪素子デバイスの固定性を向上させる。【解決手段】相対向する一対の薄板部16a及び16bと、可動部20と、これら薄板部16a及び16bと可動部20を支持する固定部22を具備し、一対の薄板部16a及び16bのうち、少なくとも1つの薄板部16a及び16bに圧電/電歪素子24a及び24bが配設され、一対の薄板部16a及び16bの両内壁と可動部20の内壁20aと固定部22の内壁22aとにより孔部12が形成された圧電/電歪デバイス10Aにおいて、一対の薄板部16a及び16bを金属製とする。

Claim (excerpt)：

相対向する一対の金属製の薄板部と、これら薄板部に対して接着剤を介して固着された固定部とを具備し、前記一対の薄板部の先端部に可動部を有し、前記一対の薄板部のうち、少なくとも1つの薄板部に1以上の圧電/電歪素子が配設された圧電/電歪デバイスであって、前記可動部又は固定部のいずれか一方は、互いに対向する端面を有し、前記端面間の距離が前記可動部の長さ以上であることを特徴とする圧電/電歪デバイス。

IPC (7)：

H01L 41/09 , G01P 15/09 , H01L 41/083 , H01L 41/187 , H01L 41/22 , G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (9)：

G01P 15/09 , G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/08 J , H01L 41/08 N , H01L 41/18 101 B , H01L 41/18 101 C , H01L 41/18 101 D , H01L 41/22 Z

F-Term (7)：

2F105BB02 , 2F105BB03 , 2F105BB12 , 2F105CC01 , 2F105CD02 , 2F105CD06 , 2F105CD13

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (13)

微動機構
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-274078 Applicant：キヤノン株式会社
特開平2-277012
アクチュエータのダンパー構造
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-095081 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

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