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J-GLOBAL ID：200903090620194462

微細構造物の構造推定方法、構造推定装置及び成形金型の製造方法

Inventor：
増田 修

About 増田 修

, 
今榮 真紀子

About 今榮 真紀子

, 
古田 和三

About 古田 和三


Applicant, Patent owner：
コニカミノルタホールディングス株式会社

About コニカミノルタホールディングス株式会社


Agent (2)： 田村 敬二郎 ,  小林 研一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006127636
Publication number (International publication number)：2007298443
Application date： May. 01, 2006
Publication date： Nov. 15, 2007
Summary：
【課題】微細構造を有する構造物について非破壊でかつ短時間にその微細構造を推定でき、更にその微細構造の分布を知ることが可能な微細構造物の構造推定方法及び構造推定装置を提供する。また、微細構造を有する構造物を成形するための成形金型を効率的に製造可能な成形金型の製造方法を提供する。【解決手段】この微細構造物の構造推定方法は、微細構造を有する被測定物の複屈折を測定系により測定し、その測定結果を用いて位相差を演算し、その演算された位相差データに基づいて微細構造を推定する。【選択図】図4
Claim (excerpt)：
微細構造を有する被測定物の透過光量を検光子を介して測定系により測定するステップと、 前記測定結果を用いて位相差を演算する位相差演算ステップと、 前記演算された位相差データに基づいて前記微細構造を推定する構造推定ステップと、を含むことを特徴とする微細構造物の構造推定方法。
IPC (2)：
G01N 21/23 ,  G01B 11/02
FI (2)：
G01N21/23 ,  G01B11/02 Z
F-Term (29)：
2F065AA23 ,  2F065AA24 ,  2F065BB18 ,  2F065BB22 ,  2F065FF50 ,  2F065GG04 ,  2F065GG23 ,  2F065HH09 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ09 ,  2F065LL12 ,  2F065LL20 ,  2F065LL33 ,  2F065LL34 ,  2F065QQ00 ,  2G059AA02 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059EE01 ,  2G059EE05 ,  2G059EE11 ,  2G059GG01 ,  2G059GG04 ,  2G059HH02 ,  2G059JJ07 ,  2G059KK01 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (9)
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Article cited by the Patent：
Cited by examiner (1)

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