対象物の照明方法および装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：伊藤武久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001183692
Publication number (International publication number)：2002098896
Application date： Jun. 18, 2001
Publication date： Apr. 05, 2002
Summary：

【要約】【課題】普遍的に使用でき、順応性があり、広帯域の波長スペクトルを高照明密度で提供し、且つ可能な限り干渉現象を回避した照明方法および照明装置を提供する。【解決手段】レーザー(9)の光線(13)を、該光線をスペクトル拡散させる微細構造光学要素(19)に入射させるステップ(1)と、スペクトル拡散させた光(31)を照明光線(29)に整形するステップ(3)と、照明光線(29)を対象物(79)に指向させるステップ(5)とを含んでいる。

Claim (excerpt)：

対象物の照明方法において、レーザー(9)の光線(13)を、該光線をスペクトル拡散させる微細構造光学要素(19)に入射させるステップ(1)と、スペクトル拡散させた光(31)を照明光線(29)に整形するステップ(3)と、照明光線(29)を対象物(79)に指向させるステップ(5)と、を含んでいることを特徴とする方法。

IPC (4)：

G02B 19/00 , A61B 1/06 , G02B 21/06 , G02B 23/26

FI (5)：

G02B 19/00 , A61B 1/06 A , A61B 1/06 B , G02B 21/06 , G02B 23/26 B

F-Term (27)：

2H040BA09 , 2H040CA04 , 2H040CA11 , 2H052AA07 , 2H052AA08 , 2H052AA09 , 2H052AB05 , 2H052AC04 , 2H052AC15 , 2H052AC26 , 2H052AC27 , 2H052AC28 , 2H052AC34 , 2H052AF14 , 2H052AF25 , 4C061AA00 , 4C061BB01 , 4C061CC00 , 4C061DD00 , 4C061GG01 , 4C061NN01 , 4C061QQ01 , 4C061QQ04 , 4C061QQ09 , 4C061RR04 , 4C061RR30 , 4C061WW17

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

顕微鏡光路中の短パルスレーザビームの結合のための装置およびその方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-160631 Applicant：カールツァイスイエナゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
レーザ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-361665 Applicant：株式会社ニコン
共焦点顕微鏡による検査方法およびそのシステム構成
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-164542 Applicant：カールツァイスイエナゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング, ヨーロピアンモレキュラーバイオロジーラボラトリー

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