Pat
J-GLOBAL ID:200903091994837711
高耐熱性感光性樹脂組成物
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
鳴井 義夫 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002202732
Publication number (International publication number):2003287889
Application date: Jul. 11, 2002
Publication date: Oct. 10, 2003
Summary:
【要約】【課題】 優れたリソグラフィー特性を有し、かつ加熱硬化後のレリーフパターンが、極めて高い耐熱性、耐薬品性を有する、高性能な感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)光重合性の不飽和二重結合を有するポリアミド、(B)光重合性の不飽和二重結合を有するモノマー、(C)光重合開始剤、(D)熱架橋剤を含有する感光性樹脂組成物を調製する。
Claim (excerpt):
(A)光重合性の不飽和結合を有するポリアミド:100質量部、(B)光重合性の不飽和二重結合を有するモノマー:1〜50質量部、(C)光重合開始剤:1〜20質量部、(D)熱架橋剤:5〜30質量部、を含有する感光性樹脂組成物。
IPC (3):
G03F 7/038 504
, C08F290/14
, G03F 7/004 501
FI (3):
G03F 7/038 504
, C08F290/14
, G03F 7/004 501
F-Term (24):
2H025AA10
, 2H025AA13
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AC08
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025BC69
, 2H025BC70
, 2H025CA00
, 2H025CC17
, 2H025FA17
, 4J027AC02
, 4J027AC03
, 4J027AC04
, 4J027AD02
, 4J027BA17
, 4J027BA19
, 4J027BA20
, 4J027BA26
, 4J027CC04
, 4J027CC05
, 4J027CD10
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (5)
-
感光性樹脂組成物、感光性エレメント、感光性積層体及びフレキシブルプリント板の製造法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-243417
Applicant:日立化成工業株式会社
-
低応力膜を与える組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-054771
Applicant:旭化成工業株式会社
-
プリント回路板の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-206102
Applicant:東芝ケミカル株式会社
-
ネガ型感光性組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-122654
Applicant:三菱化学株式会社
-
感光性重合体組成物、パターンの製造法及び電子部品
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-215475
Applicant:日立化成工業株式会社, 株式会社日立製作所
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Cited by examiner (5)
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感光性樹脂組成物、感光性エレメント、感光性積層体及びフレキシブルプリント板の製造法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-243417
Applicant:日立化成工業株式会社
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低応力膜を与える組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-054771
Applicant:旭化成工業株式会社
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プリント回路板の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-206102
Applicant:東芝ケミカル株式会社
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ネガ型感光性組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-122654
Applicant:三菱化学株式会社
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感光性重合体組成物、パターンの製造法及び電子部品
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-215475
Applicant:日立化成工業株式会社, 株式会社日立製作所
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