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J-GLOBAL ID:200903054164397066

ネガ型感光性組成物

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 長谷川 曉司
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994122654
Publication number (International publication number):1995128855
Application date: Jun. 03, 1994
Publication date: May. 19, 1995
Summary:
【要約】【構成】 アルカリ可溶性樹脂、酸の作用により該アルカリ可溶性樹脂を架橋可能な架橋剤及び光の作用により酸を発生する化合物として特定のハロアルキル置換スチリルトリアジン系化合物を含むことを特徴とするネガ型感光性組成物。【効果】 本発明のネガ型感光性組成物は、レジスト膜厚が厚い場合でも高アスペクト比のパターン形成を可能とする。
Claim (excerpt):
a)アルカリ可溶性樹脂、b)酸の作用により該アルカリ可溶性樹脂を架橋可能な架橋剤、及びc)下記一般式(I)で表される、光により酸を発生する化合物を含むことを特徴とするネガ型感光性組成物。【化1】(式中、R1 及びR2 はそれぞれ水素原子またはアルキル基を表し、R3 、R4、R5 、R6 及びR7 はそれぞれ水素原子、アルキル基またはアルコキシ基を表し、R8 及びR9 はそれぞれ水素原子またはハロアルキル基を表す。但し、R8およびR9 が同時に水素原子であることはなく、R4 およびR6 が同時にアルコキシ基であることはない。)
IPC (4):
G03F 7/038 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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