感光性重合体組成物、パターンの製造法及び電子部品

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：若林邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999215475
Publication number (International publication number)：2001042527
Application date： Jul. 29, 1999
Publication date： Feb. 16, 2001
Summary：

【要約】【課題】感度が高く、現像後の加熱処理によるパターンの変形が小さい、ポジ型で耐熱性の感光性重合体組成物、解像度が高く、良好な形状のパターンが得られるパターンの製造法及び良好な形状のパターンを有することにより、信頼性の高い電子部品を提供する。【解決手段】 (a)アルカリ水溶液可溶性のポリイミド前駆体又はポリイミド、(b)光により酸を発生する化合物、(c)フェノール性水酸基を有する化合物及び(d)熱により(a)成分と架橋反応を起こす化合物を含有してなる感光性重合体組成物、この感光性重合体組成物を支持基板上に塗布し乾燥する工程、露光する工程、現像する工程及び加熱処理する工程を含むパターンの製造法並びにこの製造法により得られるパターンを表面保護膜又は層間絶縁膜として有してなる電子部品。

Claim (excerpt)：

(a)アルカリ水溶液可溶性のポリイミド前駆体又はポリイミド、(b)光により酸を発生する化合物、(c)フェノール性水酸基を有する化合物及び(d)熱により(a)成分と架橋反応を起こす化合物を含有してなる感光性重合体組成物。

IPC (15)：

G03F 7/037 , C08G 59/50 , C08G 73/10 , C08K 5/03 , C08K 5/13 , C08K 5/19 , C08K 5/21 , C08K 5/28 , C08K 5/3492 , C08L 79/08 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/022 , G03F 7/40 501 , H01L 21/027

FI (16)：

G03F 7/037 , C08G 59/50 , C08G 73/10 , C08K 5/03 , C08K 5/13 , C08K 5/19 , C08K 5/21 , C08K 5/28 , C08K 5/3492 , C08L 79/08 A , C08L 79/08 Z , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 Z , G03F 7/022 , G03F 7/40 501 , H01L 21/30 502 R

F-Term (76)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA04 , 2H025AA10 , 2H025AA13 , 2H025AA20 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025BE07 , 2H025BE08 , 2H025CB25 , 2H025CC17 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H096AA27 , 2H096BA09 , 2H096BA10 , 2H096EA02 , 2H096GA08 , 2H096HA01 , 4J002CD052 , 4J002CD062 , 4J002CD112 , 4J002CD132 , 4J002CM041 , 4J002EB116 , 4J002EB119 , 4J002EJ037 , 4J002EN139 , 4J002EQ016 , 4J002EQ036 , 4J002ET018 , 4J002ET019 , 4J002EU188 , 4J002EV219 , 4J002EV296 , 4J002FD206 , 4J002GP03 , 4J036AA01 , 4J036AD08 , 4J036DB05 , 4J036FB14 , 4J036HA02 , 4J036JA09 , 4J043RA06 , 4J043RA35 , 4J043SA06 , 4J043SA62 , 4J043SB01 , 4J043TA14 , 4J043TA22 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA132 , 4J043UA151 , 4J043UA152 , 4J043UA222 , 4J043UA261 , 4J043UA262 , 4J043UA362 , 4J043UB011 , 4J043UB021 , 4J043UB121 , 4J043UB151 , 4J043UB152 , 4J043UB281 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043UB312 , 4J043UB401 , 4J043UB402 , 4J043YA06

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (13)

カラーフィルター
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-028464 Applicant：住友化学工業株式会社
レジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-300001 Applicant：住友化学工業株式会社
ポジ型耐熱性感光性重合体組成物及びレリーフパターンの製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-167464 Applicant：日立化成工業株式会社

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Cited by examiner (15)

カラーフィルター
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-028464 Applicant：住友化学工業株式会社
感光性耐熱性樹脂前駆体組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-128166 Applicant：東レ株式会社
レジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-300001 Applicant：住友化学工業株式会社

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