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J-GLOBAL ID：200903092134792547

位置決め装置、半導体露光装置およびデバイス製造方法

Inventor：
浅野 俊哉

About 浅野 俊哉

, 
宇梶 隆夫

About 宇梶 隆夫


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000002495
Publication number (International publication number)：2001195130
Application date： Jan. 11, 2000
Publication date： Jul. 19, 2001
Summary：
【要約】【課題】 駆動反力を床等に及ぼさないステージ装置を構成する。また、第1移動体の可動範囲を所定の値に維持できるようにする。【解決手段】 基準面に沿って移動自在に支持された第1および第2の移動体13、17、7と、第1および第2移動体間で所定の方向の力を発生させる第1の駆動機構15、16と、第1駆動機構を用いて第1移動体を所望の位置に位置決めすべく制御する第1移動体制御系とを備えた位置決め装置において、前記基準面と第2移動体との間で前記所定方向と同方向の力を発生させる第2の駆動機構23〜26と、第2駆動機構を用いて、第1移動体制御系による制御に同期して第2移動体の位置を制御する第2移動体制御系とを設ける。あるいは、第2移動体をその前記基準面に沿った移動範囲内の任意の位置で固定する第2移動体位置固定機構と、第2移動体の前記所定方向の位置を計測する第2移動体位置計測系とを設ける。
Claim (excerpt)：
基準面に沿って移動自在に支持された第1および第2の移動体と、前記第1および第2移動体間で所定の方向の力を発生させる第1の駆動機構と、前記基準面と第2移動体との間で前記所定方向と同方向の力を発生させる第2の駆動機構と、前記第1駆動機構を用いて前記第1移動体を所望の位置に位置決めすべく制御する第1移動体制御系と、前記第2駆動機構を用いて、前記第1移動体制御系による制御に同期して前記第2移動体の位置を制御する第2移動体制御系とを具備することを特徴とする位置決め装置。
IPC (4)：
G05D 3/00 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68
FI (4)：
G05D 3/00 Q ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/68 F ,  H01L 21/30 515 G
F-Term (29)：
5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031JA32 ,  5F031JA45 ,  5F031KA06 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F031MA33 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC04 ,  5F046CC13 ,  5F046CC16 ,  5H303AA06 ,  5H303BB02 ,  5H303BB09 ,  5H303BB12 ,  5H303BB20 ,  5H303CC01 ,  5H303DD04 ,  5H303EE03 ,  5H303EE07 ,  5H303FF08 ,  5H303GG13 ,  5H303HH01 ,  5H303HH07 ,  5H303QQ08
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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