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J-GLOBAL ID：200903092414654654

熱型赤外線検出素子

Inventor：
小田 直樹

About 小田 直樹


Applicant, Patent owner：
日本電気株式会社

About 日本電気株式会社


Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997080008
Publication number (International publication number)：1998274561
Application date： Mar. 31, 1997
Publication date： Oct. 13, 1998
Summary：
【要約】【課題】 製造時の歩留まりが大きく生産性が高く、熱時定数が小さく残像が低減された熱型赤外線検出素子を提供する。【解決手段】 読出回路を有する下層部と絶縁保護膜に覆われた熱-抵抗値変換を行うボロメータ薄膜を有する上層部からなり、この上層部と下層部とは真空又は封入ガスにより空間的に隔てられた熱分離構造を形成し、かつこの絶縁保護膜上または絶縁保護膜中の電極膜により電気的に接続され、またボロメータ薄膜が赤外線吸収膜も兼ねる構成とする。
Claim (excerpt)：
読出回路を有する下層部と絶縁保護膜に覆われた熱-抵抗値変換を行うボロメータ薄膜を有する上層部からなり、該上層部と該下層部とは真空又は封入ガスにより空間的に隔てられた熱分離構造を形成しており、かつ該絶縁保護膜上または絶縁保護膜中の電極膜により電気的に接続されていること、及び該ボロメータ薄膜が赤外線吸収膜も兼ねることを特徴とする熱型赤外線検出素子。
IPC (4)：
G01J 1/02 ,  C01G 45/00 ,  C09K 3/00 105 ,  G01J 5/02
FI (5)：
G01J 1/02 R ,  G01J 1/02 C ,  C01G 45/00 ,  C09K 3/00 105 ,  G01J 5/02 B
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
  • 赤外線センサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-265703   Applicant：日本電気株式会社
  • 赤外線検出素子
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-286385   Applicant：松下電工株式会社
  • 熱依存性検出装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-258591   Applicant：リコー精器株式会社
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