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J-GLOBAL ID：200903092489817451

縦型熱処理装置及び熱処理方法

Inventor：
鈴木 富士雄

About 鈴木 富士雄


Applicant, Patent owner：
東京エレクトロン株式会社

About 東京エレクトロン株式会社


Agent (1)： 井上 俊夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000349971
Publication number (International publication number)：2002158217
Application date： Nov. 16, 2000
Publication date： May. 31, 2002
Summary：
【要約】【課題】 縦型熱処理装置において被処理体の保持具と下端の蓋体との間に発熱体ユニットを設ける場合、既存の装置への追加が容易であり、また降温時や昇温時に成膜などの熱処理を行うプロセスに対応できるようにすること。【解決手段】 反応容器を囲むように設けられた複数段のヒータのうち最下段のヒータにより囲まれる領域に温度検出部を設け、この温度検出部の温度検出値から、当該検出値に応じたオフセット温度を差し引き、その温度を遅延回路部により遅らせて前記発熱体ユニットの設定温度とする。こうすることによって発熱体ユニットは、発熱体ユニットを持たない従来の保温ユニットと同様の働きをし、かつその断熱性能を可変することができ、また既存のヒータの段数分のレシピで運用できる。
Claim (excerpt)：
蓋体の上に支持された保持具に多数の被処理体を棚状に保持させ、前記保持具を縦型の反応容器内に下方側から搬入すると共に前記蓋体により反応容器の下端を気密に塞ぎ、前記反応容器内を加熱雰囲気にして被処理体に対して熱処理を行う縦型熱処理装置において、前記反応容器を囲むようにかつ複数段に分割して設けられたヒ-タと、これら複数段のヒ-タのうち最下段に位置するヒ-タにより囲まれる領域に設けられた第1の温度検出部と、前記蓋体と保持具との間に設けられた発熱体ユニットと、この発熱体ユニットの近傍に設けられた第2の温度検出部と、前記第1の温度検出部の温度検出値から設定温度を作成し、この設定温度と前記第2の温度検出部の温度検出値との偏差に応じて前記発熱体ユニットの発熱量を制御する制御部と、を備えたことを特徴とする縦型熱処理装置。
IPC (3)：
H01L 21/31 ,  C23C 16/46 ,  C23C 16/52
FI (4)：
H01L 21/31 B ,  H01L 21/31 E ,  C23C 16/46 ,  C23C 16/52
F-Term (23)：
4K030AA06 ,  4K030AA13 ,  4K030BA40 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030FA10 ,  4K030HA13 ,  4K030KA04 ,  4K030KA24 ,  4K030KA39 ,  4K030KA41 ,  5F045AB33 ,  5F045AC03 ,  5F045AC12 ,  5F045AD10 ,  5F045AD11 ,  5F045AF03 ,  5F045DP19 ,  5F045DQ05 ,  5F045EK06 ,  5F045EK22 ,  5F045EK27 ,  5F045GB05
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
  • 縦型拡散炉
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-000984   Applicant：広島日本電気株式会社
  • 熱処理装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-207068   Applicant：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社
  • 電気炉のデータ処理方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-175516   Applicant：国際電気株式会社
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