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J-GLOBAL ID:200903093256225151

センサヘッド、及びセンサヘッドの製造方法、センサ装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 長尾 達也
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003150289
Publication number (International publication number):2004354130
Application date: May. 28, 2003
Publication date: Dec. 16, 2004
Summary:
【課題】誘電率の変化に対して感度が高く、波長スペクトルを取得するための分光器あるいは回折格子などの部品を必要とせず、部品点数の少ないセンサヘッド、及びセンサヘッドの製造方法、センサ装置を提供する。【解決手段】照射した照明光による局在プラズモンの共鳴吸収スペクトルの変化から誘電率の変化を検出する際に用いる、誘電率センサヘッドとして構成されているセンサヘッドであって、前記センサヘッドを、基板101と該基板上に一定方向に規則的に配列された金属細線102とで構成する。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
照射した照明光による局在プラズモンの共鳴吸収スペクトルの変化から誘電率の変化を検出する際に用いる、誘電率センサヘッドとして構成されているセンサヘッドであって、 前記センサヘッドが、基板と、該基板上に一定方向に規則的に配列された金属細線とで構成されていることを特徴するセンサヘッド。
IPC (2):
G01N21/27 ,  G01N21/41
FI (2):
G01N21/27 C ,  G01N21/41
F-Term (14):
2G059BB01 ,  2G059BB04 ,  2G059CC16 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE07 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK04
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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