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J-GLOBAL ID:200903094005734479

情報記録ディスク用スタンパー、その製造方法、情報記録ディスク、および情報記録ディスク製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 永井 冬紀
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999134073
Publication number (International publication number):2000322780
Application date: May. 14, 1999
Publication date: Nov. 24, 2000
Summary:
【要約】【課題】 より微細なピットパターンを有する情報記録ディスクの製造に対応できる情報記録ディスク用スタンパーの製造方法の提供。【解決手段】 情報記録ディスク、例えばCD-ROM、のピットパターンに対応する凹凸面を、電子ビーム・フォトリソグラフィ法を用いてシリコン基板1に形成する。そして、過冷却液体温度域を有するアモルファス合金4を過冷却液体温度域に保ちつつシリコン基板1の凹凸面に押圧し、アモルファス合金4に成型転写面S1を形成する。過冷却液体温度域に保たれたアモルファス合金4は粘性が低いため、アモルファス合金4が微細な凹凸部分に充填され、転写精度の高い成型転写面S1が得られる。
Claim (excerpt):
表面にピットを複数形成して情報を記録する情報記録ディスクをプレス方式で製作する際に用いる情報記録ディスク用スタンパーにおいて、前記ディスクのピットパターンに対応する成形転写面を、過冷却液体温度域を有するアモルファス合金としたことを特徴とする情報記録ディスク用スタンパー。
IPC (3):
G11B 7/26 511 ,  G11B 7/26 521 ,  G11B 7/24 511
FI (3):
G11B 7/26 511 ,  G11B 7/26 521 ,  G11B 7/24 511
F-Term (6):
5D029JA01 ,  5D029JB26 ,  5D121AA01 ,  5D121CA05 ,  5D121CB03 ,  5D121EE26
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (12)
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