蛍光X線分析用データ処理装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小林良平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999140413
Publication number (International publication number)：2000329712
Application date： May. 20, 1999
Publication date： Nov. 30, 2000
Summary：

【要約】【課題】元素感度を取得するための標準試料の測定作業を簡素化する。【解決手段】データ処理装置8において理論X線強度を算出するための計算式に、X線管3から試料2、試料2から検出器4に至る光路における雰囲気ガスの吸収による減衰項を含める。標準試料の測定時にその雰囲気に応じた計算式を用いて理論強度を求め、その理論強度と実測強度とから元素感度を求める。すなわち、いずれかの雰囲気において1回のみ標準試料を測定すればよい。未知試料の測定の際にも、その測定時の雰囲気に応じた計算式を用いて理論強度を求め、先の元素感度と実測強度を用いて定量値を算出する。

Claim (excerpt)：

蛍光X線分析において、組成が既知である標準試料の測定によって得られる実測X線強度と計算によって得られる理論X線強度とに基づいて元素感度を求め、組成が未知である未知試料の測定によって得られる実測X線強度と計算によって得られる理論X線強度と前記元素感度とに基づいて含有元素の定量を行うデータ処理装置であって、a)標準試料の測定時の分析チャンバ内の雰囲気に応じたX線の減衰を考慮した理論X線強度を算出する第1の理論強度算出手段と、b)第1の理論強度算出手段により算出された理論X線強度と標準試料に対する実測X線強度とから、元素毎に元素感度を算出し記憶しておく元素感度格納手段と、c)未知試料の測定時の分析チャンバ内の雰囲気に応じたX線の減衰を考慮した理論X線強度を算出する第2の理論強度算出手段と、d)第2の理論強度算出手段により算出された理論X線強度と未知試料に対する実測X線強度と前記元素感度格納手段に格納されている元素感度とから、その未知試料に含まれる各成分の含有率を推定する定量処理手段と、を備えることを特徴とする蛍光X線分析用データ処理装置。

F-Term (13)：

2G001AA01 , 2G001BA04 , 2G001CA01 , 2G001DA02 , 2G001EA03 , 2G001FA02 , 2G001FA03 , 2G001FA06 , 2G001FA14 , 2G001FA30 , 2G001GA01 , 2G001KA01 , 2G001PA07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特公平7-018823
特許第2645227号
特許第2671293号

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

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