Pat
J-GLOBAL ID：200903094326559547

基板搬送装置用基板把持機構

Inventor：
戸田 保男

About 戸田 保男

, 
河野 正樹

About 河野 正樹

, 
小林 亮介

About 小林 亮介


Applicant, Patent owner：
凸版印刷株式会社

About 凸版印刷株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007271093
Publication number (International publication number)：2009098052
Application date： Oct. 18, 2007
Publication date： May. 07, 2009
Summary：
【課題】フラットパネルディスプレイなどに使われる基板の欠陥検査装置などで、上下変動無く安定して搬送を行うための搬送機構における基板把持機構に関するものである。【解決手段】基板搬送部に設置され基板を浮上させる基板浮上機構と、基板を把持する把持手段と、把持手段を移動させる把持搬送手段を備えた基板搬送装置において、把持手段は、基板端部を基板挟み部により挟み込む上ブロックおよび下ブロックと、上ブロックおよび下ブロックを支えかつ移動軸をそろえるための支柱と、上ブロックと下ブロックの基板挟み部の外側に配置されるチャック開閉チューブと、チャック開閉チューブ内部に流体を給排する流体給排手段と、上ブロックと下ブロックの間に配置される反発ばねと、上ブロックおよび下ブロックを支える支え梁および支えばねとを備え、少なくとも1以上の把持手段を往復運動させる把持搬送手段を備えた基板搬送装置用把持機構。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
基板搬送部に設置された基板を浮上させる基板浮上機構と、前記基板の片端部もしくは両端部を把持する把持手段と、前記把持手段を移動させる把持搬送手段を備えたことを特徴とする基板搬送装置において、 前記把持手段は、基板端部を基板挟み部により挟み込む上ブロックおよび下ブロックと、 前記上ブロックおよび下ブロックを支えかつ移動軸をそろえるための支柱と、 前記上ブロックと下ブロックの基板挟み部の外側に配置されるチャック開閉チューブと、 前記チャック開閉チューブ内部に流体を給排する流体給排手段と、 前記上ブロックと下ブロックの間に配置される反発ばねと、 前記上ブロックおよび下ブロックを支える支え梁および支えばねと、を備え、 少なくとも1以上の前記把持手段を往復運動させる前記把持搬送手段を備えることを特徴とする基板搬送装置用把持機構。
IPC (6)：
G01N 21/84 ,  G01N 21/88 ,  G02F 1/13 ,  B65G 51/03 ,  B65G 49/06 ,  H01L 21/677
FI (6)：
G01N21/84 C ,  G01N21/88 Z ,  G02F1/13 101 ,  B65G51/03 C ,  B65G49/06 A ,  H01L21/68 A
F-Term (20)：
2G051AA84 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051CA04 ,  2G051CB02 ,  2G051DA01 ,  2G051DA06 ,  2H088FA11 ,  2H088FA17 ,  2H088FA18 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088HA10 ,  2H088MA20 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA60 ,  5F031GA62 ,  5F031MA33
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (7)
Show all
Cited by examiner (4)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM