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J-GLOBAL ID:200903095088766705

物体の塗布状態評価方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 野河 信太郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996082553
Publication number (International publication number):1997273913
Application date: Apr. 04, 1996
Publication date: Oct. 21, 1997
Summary:
【要約】【課題】 プラズマディスプレイパネルの蛍光体塗布状態を評価する方法に関し、基板に形成された蛍光体層の形状を非破壊検査によって、プラズマディスプレイパネルの製造工程中に検出することを課題とする。【解決手段】 表面に複数の平行なリブを有する基板の各リブ間に塗布される蛍光体の塗布状態を評価する方法であって、蛍光体塗布前および塗布後の基板表面を複数のリブを横切るように変位計で走査して蛍光体塗布前後における基板表面までの距離を計測し、その蛍光体の塗布前後において得られた計測データの比較結果に基づいて蛍光体の塗布状態を評価する工程からなることを特徴とする。
Claim (excerpt):
第1物体の表面の一部に塗布される第2物体の塗布状態を評価する方法であって、第2物体の塗布前および塗布後の第1物体の表面を変位計で走査して塗布前後における第1物体の表面までの距離を計測し、第2物体の塗布前後において得られた計測データの比較結果に基づいて第2物体の塗布状態を評価することを特徴とする物体の塗布状態評価方法。
IPC (4):
G01B 11/06 ,  B05D 3/00 ,  G01B 21/08 ,  H01J 9/42
FI (4):
G01B 11/06 Z ,  B05D 3/00 Z ,  G01B 21/08 ,  H01J 9/42 A
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (14)
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