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J-GLOBAL ID:200903095531115917
X線蛍光分光システム及びX線蛍光分光方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
谷 義一
, 阿部 和夫
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2003505939
Publication number (International publication number):2005512020
Application date: Jun. 18, 2002
Publication date: Apr. 28, 2005
Summary:
本発明は、X線蛍光分光システム及びX線蛍光分光方法を提供する。X線蛍光分光システム100には、X線放射源110と、サンプルの少なくとも1つの分析物を刺激して蛍光発光させるために、線源からX線放射を収集して、X線放射をサンプルの上の焦点に集束させるための、X線放射源110とサンプル130との間に配置された励起光学部品120とが備えられ、さらに、X線蛍光検出器150と、サンプルの上の焦点からX線蛍光を収集して、蛍光X線をX線蛍光検出器に向けて集束させるための、サンプルとX線蛍光検出器との間に配置された両側湾曲回折光学部品を備える収集光学部品140とが備えられている。
Claim (excerpt):
少なくとも1つのX線放射源と、
サンプルの少なくとも1つの分析物を励起して蛍光発光させるために、前記X線放射源からのX線放射を収集して、該X線放射を前記サンプルの上の焦点に集束させるための、前記X線放射源と前記サンプルとの間に配置された少なくとも1つの励起光学部品と、
少なくとも1つのX線検出器と、
前記サンプルの上の前記焦点からX線蛍光を収集して、該X線蛍光を前記X線検出器に向けるための、前記サンプルと前記X線検出器との間に配置された少なくとも1つの両側湾曲回折光学部品を有する少なくとも1つの収集光学部品と
を備えたことを特徴とするX線蛍光分光システム。
IPC (3):
G01N23/223
, G21K1/00
, G21K1/06
FI (4):
G01N23/223
, G21K1/00 X
, G21K1/06 B
, G21K1/06 F
F-Term (9):
2G001AA01
, 2G001BA04
, 2G001CA01
, 2G001EA01
, 2G001EA02
, 2G001EA20
, 2G001KA01
, 2G001LA04
, 2G001MA02
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (10)
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米国特許第5,175,755号明細書
-
米国特許出願第60/336,584号明細書(2001年12月4日出願)
-
米国特許第第5,192,869号明細書
-
米国特許第第5,497,008号明細書
-
米国特許第第5,570,408号明細書
-
米国特許第第5,604,353号明細書
-
米国特許第第5,745,547号明細書
-
米国特許第第6,285,506号明細書
-
米国特許第第6,317,483号明細書
-
米国特許出願第09/667,966号明細書(2000年9月22日出願)
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Cited by examiner (4)
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特開平4-190148
-
濃度計
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-033726
Applicant:株式会社東芝
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蛍光X線分析に使用する試料の調製法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-339435
Applicant:理学電機工業株式会社
-
蛍光X線分析方法及び試料構造の評価方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-304935
Applicant:富士通株式会社
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Article cited by the Patent:
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