Pat

J-GLOBAL ID：200903095612098839

スタンパおよびその製造方法並びに光学素子

Inventor： 竹森 浩俊 ,  松原 和徳
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 青山 葆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001261691
Publication number (International publication number)：2003066234
Application date： Aug. 30, 2001
Publication date： Mar. 05, 2003
Summary：

【要約】【課題】 2P法によって形成する微細パターンにおける溝の側壁の勾配の精度を高めることができ、光学素子の量産性を向上させることができるスタンパを提供する。【解決手段】 微細パターンの溝100の側壁100aが表面に対して傾斜している。溝100の側壁100aにおける上記表面に対する傾斜角θは、以下の関係式Tan<SP>-1</SP>(4×h×w<SB>1</SB><SP>-0.2</SP>)<θ<80°h:溝100の深さw<SB>1</SB>:溝100の側壁100aによって画成される凸部の頂上の幅を満している。

Claim (excerpt)：

微細パターンを表面に有し、上記微細パターンの溝の側壁が上記表面に対して傾斜しているスタンパにおいて、上記溝の側壁の上記表面に対する傾斜角θは、以下の関係式Tan<SP>-1</SP>(4×h×w<SB>1</SB><SP>-0.2</SP>)<θ<80°h:上記溝の深さw<SB>1</SB>:上記溝の側壁によって画成される凸部の頂上の幅を満たすことを特徴とするスタンパ。

IPC (7)：

G02B 5/32 ,  B29C 33/38 ,  G03H 1/20 ,  G11B 7/135 ,  G11B 7/22 ,  B29L 11:00 ,  B29L 17:00

FI (7)：

G02B 5/32 ,  B29C 33/38 ,  G03H 1/20 ,  G11B 7/135 A ,  G11B 7/22 ,  B29L 11:00 ,  B29L 17:00

F-Term (23)：

2H049CA05 ,  2H049CA09 ,  2H049CA20 ,  2H049CA28 ,  2K008AA00 ,  2K008EE01 ,  2K008GG05 ,  4F202AH79 ,  4F202AJ02 ,  4F202AJ09 ,  4F202CA11 ,  4F202CA30 ,  4F202CB01 ,  4F202CB29 ,  4F202CD24 ,  5D119AA38 ,  5D119BA01 ,  5D119JA14 ,  5D119NA05 ,  5D789AA38 ,  5D789BA01 ,  5D789JA14 ,  5D789NA05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 特開平2-137803
  
• 情報記録媒体の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-162537   Applicant：日本電気株式会社
• 情報記録基板の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-105719   Applicant：日本ビクター株式会社
• 光電位置測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-346746   Applicant：ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
• 特開昭63-050938
  
• 光学素子およびその製造に用いるスタンパ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-031230   Applicant：シャープ株式会社