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J-GLOBAL ID：200903005297865150

光学素子およびその製造に用いるスタンパ

Inventor：
竹森 浩俊

About 竹森 浩俊


Applicant, Patent owner：
シャープ株式会社

About シャープ株式会社


Agent (1)： 青山 葆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999031230
Publication number (International publication number)：2000231011
Application date： Feb. 09, 1999
Publication date： Aug. 22, 2000
Summary：
【要約】【課題】 スタンパを用いた2P成形法で微細パターンを形成する際、離型時の成形バリの発生を抑えて、低コストで量産できるホログラム素子、その製造用のスタンパ、このスタンパの製造方法を提供する。【解決手段】 透明基板の両面にプライマ層を介して設けられた紫外線硬化型樹脂4の表面に微細パターンが2P成形法で形成されるホログラム素子。上記微細パターンは、微細パターンの高さをh,溝底の幅をwとするとき、溝の側壁が、Tan<SP>-1</SP>(2h/w)<θ<80°を満たす傾斜角θで透明基板表面に対して傾くとともに、凸部の頂部形状が外に向かって凸な丸みをもち、溝の底面と側面の交差部が丸みをもつ。スタンパは、上記微細パターンに対応する形状を有し、製造時に反応性イオンエッチングのレートを、通常の1/3程度に落として形成される。
Claim (excerpt)：
透明基板の両面にプライマ層を介して設けられた紫外線硬化型樹脂の表面に、スタンパを用いた転写によって微細パターンが形成された光学素子において、上記微細パターンの溝の側壁が、上記透明基板の表面に対して傾斜をなし、その傾斜角θが、上記微細パターンの高さをh,上記微細パターンの溝底の幅をwとするとき、次の関係を満たすことを特徴とする光学素子。Tan<SP>-1</SP>(2h/w)<θ<80°
IPC (6)：
G02B 5/18 ,  B29C 59/02 ,  C03C 15/00 ,  G02B 5/32 ,  G03F 7/40 521 ,  G03H 1/04
FI (6)：
G02B 5/18 ,  B29C 59/02 B ,  C03C 15/00 D ,  G02B 5/32 ,  G03F 7/40 521 ,  G03H 1/04
F-Term (37)：
2H049AA33 ,  2H049AA37 ,  2H049AA40 ,  2H049AA44 ,  2H049AA45 ,  2H049AA48 ,  2H049AA57 ,  2H049CA05 ,  2H049CA08 ,  2H049CA20 ,  2H049CA28 ,  2H096AA28 ,  2H096BA20 ,  2H096CA12 ,  2H096DA01 ,  2H096HA11 ,  2K008AA00 ,  2K008BB04 ,  2K008BB08 ,  2K008EE07 ,  2K008GG05 ,  4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AG19 ,  4F209AH79 ,  4F209AM33 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN06 ,  4F209PQ11 ,  4G059AA01 ,  4G059AB05 ,  4G059AB06 ,  4G059BB01 ,  4G059BB08
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (14)
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