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J-GLOBAL ID:200903096136519681
研削・研磨用真空チャックおよび吸着板
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
安富 康男
, 重平 和信
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004090105
Publication number (International publication number):2005118979
Application date: Mar. 25, 2004
Publication date: May. 12, 2005
Summary:
【課題】 被吸着体を吸着、保持するための保持面の平坦度に優れ、被吸着体の均一な研磨を実現することができる研磨用真空チャックを提供すること。【解決手段】 被吸着体を吸着、保持するための吸着板と、上記吸着板を保持する保持台とからなり、上記吸着板は、空気が透過する吸着部と、空気の透過を遮断する環状隔壁層とにより構成され、上記吸着部は、上記吸着板が上記保持台と接触する面から上記吸着板が上記被吸着体と接触する面に至る全ての部分が多孔質セラミックスにて構成されていることを特徴とする研削・研磨用真空チャック。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
被吸着体を吸着、保持するための吸着板と、前記吸着板を保持する保持台とからなり、
前記吸着板は、空気が透過する吸着部と、空気の透過を遮断する環状隔壁層とにより構成され、
前記吸着部は、前記吸着板が前記保持台と接触する面から前記吸着板が前記被吸着体と接触する面に至る全ての部分が多孔質セラミックスにて構成されていることを特徴とする研削・研磨用真空チャック。
IPC (3):
B24B41/06
, B24B37/04
, H01L21/304
FI (3):
B24B41/06 L
, B24B37/04 H
, H01L21/304 622H
F-Term (9):
3C034AA20
, 3C034BB73
, 3C034CB08
, 3C034DD10
, 3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058AA14
, 3C058CB01
, 3C058DA17
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (7)
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バキュームチャックプレート
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-311501
Applicant:ソニー株式会社
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実用新案登録第2555938号公報
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特開平3-32537号公報
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ユニバーサルチャック機構の自動切換装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-181562
Applicant:芝山機械株式会社
-
ユニバーサルチャック
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-309490
Applicant:芝山機械株式会社
-
半導体ウエハのユニバーサルチャックテーブル
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-349351
Applicant:芝山機械株式会社
-
半導体ウエハのユニバーサルチャック機構
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-070657
Applicant:株式会社岡本工作機械製作所
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Cited by examiner (3)
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吸着盤及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-287976
Applicant:京セラ株式会社
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ユニバーサルチャック
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-309490
Applicant:芝山機械株式会社
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真空吸着装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-315078
Applicant:京セラ株式会社, 株式会社ディスコ
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