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J-GLOBAL ID：200903096273871791

電子部品の評価方法および評価装置

Inventor： 田草 康伸 ,  谷川 徹
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 深見 久郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000161562
Publication number (International publication number)：2001343332
Application date： May. 31, 2000
Publication date： Dec. 14, 2001
Summary：

【要約】【課題】 各種の薄膜の品質を製造ライン内で多面的に評価することにより、品質向上や高歩留りを得る電子部品の評価方法および評価装置を提供する。【解決手段】 この評価方法では、基板に光を照射して、その基板からの反射光をライン状の光として取り込んで分光分析して、基板の検査を行い評価する。

Claim (excerpt)：

基板に光を照射して、その基板からの反射光をライン状の光として取り込んで分光分析して、前記基板の検査を行い評価する、電子部品の評価方法。

IPC (7)：

G01N 21/95 ,  G01B 11/06 101 ,  G01B 11/30 ,  G01M 11/00 ,  G01N 21/27 ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 352

FI (7)：

G01N 21/95 Z ,  G01B 11/06 101 Z ,  G01B 11/30 A ,  G01M 11/00 T ,  G01N 21/27 B ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 352

F-Term (79)：

2F065AA30 ,  2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065BB03 ,  2F065BB15 ,  2F065CC17 ,  2F065CC25 ,  2F065CC31 ,  2F065DD02 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065GG16 ,  2F065HH04 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL01 ,  2F065LL04 ,  2F065LL26 ,  2F065LL28 ,  2F065LL42 ,  2F065LL46 ,  2F065LL67 ,  2F065MM01 ,  2F065MM02 ,  2G051AA42 ,  2G051AA61 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051AB06 ,  2G051AB07 ,  2G051BA01 ,  2G051BA05 ,  2G051BB07 ,  2G051BB17 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA05 ,  2G051EA17 ,  2G059AA03 ,  2G059BB10 ,  2G059BB15 ,  2G059BB16 ,  2G059DD12 ,  2G059EE02 ,  2G059EE10 ,  2G059EE13 ,  2G059GG03 ,  2G059HH02 ,  2G059HH03 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ06 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ17 ,  2G059KK04 ,  2G086EE01 ,  2G086EE04 ,  2G086EE05 ,  2G086EE10 ,  2H088FA10 ,  2H088FA12 ,  2H088FA17 ,  2H088FA25 ,  2H088FA26 ,  2H088FA30 ,  2H088HA03 ,  2H088MA16 ,  2H088MA18 ,  5G435AA00 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435BB06 ,  5G435EE33 ,  5G435KK05 ,  5G435KK09 ,  5G435KK10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

• カラー試料の検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-006425   Applicant：大日本印刷株式会社
• 異物検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-008920   Applicant：松下電器産業株式会社
• 異物検査方法とその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-319838   Applicant：松下電器産業株式会社
• 計測情報抽出装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-259662   Applicant：株式会社島津製作所
• 基板検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-277337   Applicant：株式会社東芝
• 透明板中の気泡検出装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-222184   Applicant：三菱化学株式会社, 三菱樹脂株式会社
• パターン読み取り装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-342776   Applicant：旭光学工業株式会社
• 光学式欠陥検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-154164   Applicant：株式会社日立製作所
• 特開平2-226027
  
• 高速分光測光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-194193   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• 分光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-262921   Applicant：横河電機株式会社