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J-GLOBAL ID：200903096729758755

試料検査方法、試料保持体、及び試料検査装置並びに試料検査システム

Inventor：
須 賀 三 雄

About 須 賀 三 雄

, 
西 山 英 利

About 西 山 英 利


Applicant, Patent owner：
日本電子株式会社

About 日本電子株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006123712
Publication number (International publication number)：2007294365
Application date： Apr. 27, 2006
Publication date： Nov. 08, 2007
Summary：
【課題】 外気に開放された常圧雰囲気に配置された試料に、電子線等の荷電粒子線を照射して試料検査を行うことにより、試料検査における試料交換を迅速に行う。【解決手段】 試料保持膜12の常圧雰囲気に接する第1の面に配置された試料11に、試料保持膜12の減圧雰囲気に接する第2の面側から該膜12を介して試料11に電子線6を照射し、当該照射により試料11から発生する二次的信号を検出して試料11の情報を取得する。真空室7外の常圧雰囲気にて試料の交換ができるので、試料交換を迅速に行うことができる。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
試料を保持するための膜の常圧雰囲気に接する第1の面に配置された試料に、該膜の減圧雰囲気に接する第2の面側から該膜を介して試料に一次線を照射し、当該照射により試料から発生する二次的信号を検出して試料の情報を取得する試料検査方法。
IPC (1)：
H01J 37/20
FI (1)：
H01J37/20 A
F-Term (3)：
5C001AA01 ,  5C001BB03 ,  5C001CC04
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (12)
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