積層構造体

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000020204
Publication number (International publication number)：2001209189
Application date： Jan. 28, 2000
Publication date： Aug. 03, 2001
Summary：

【要約】【課題】所望のパターンを有する積層構造体を提供する。【解決手段】所望のパターンを有する複数の感光材料層11、12が周期的に積層された積層構造体であって、積層方向で互いに隣接する感光材料層の下層側の感光材料層のパターン間において上層側の感光材料層の下面が下地から離間して形成されている。

Claim (excerpt)：

所望のパターンを有する複数の感光材料層が積層された積層構造体であって、積層方向で互いに隣接する前記感光材料層の下層側の感光材料層のパターン間において上層側の感光材料層の下面が下地から離間して形成されていることを特徴とする積層構造体。

IPC (2)：

G03F 7/26 511 , G03F 7/11

FI (2)：

G03F 7/26 511 , G03F 7/11

F-Term (27)：

2H025AB16 , 2H025AB20 , 2H025AC01 , 2H025AC04 , 2H025AC05 , 2H025AC06 , 2H025AC07 , 2H025AD01 , 2H025AD03 , 2H025DA11 , 2H025FA06 , 2H025FA12 , 2H025FA15 , 2H096AA25 , 2H096AA30 , 2H096BA01 , 2H096BA09 , 2H096DA01 , 2H096EA02 , 2H096EA03 , 2H096EA06 , 2H096EA07 , 2H096EA08 , 2H096EA14 , 2H096FA01 , 2H096GA02 , 2H096KA07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

特開昭60-088444
特開昭60-088445
特開昭60-089944

Show all

Return to Previous Page