インジウムスズ酸化物に基づくサスペンション及び粉末の調製方法並びにその使用

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：三枝英二 (外8名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000568781
Publication number (International publication number)：2002524374
Application date： Sep. 03, 1999
Publication date： Aug. 06, 2002
Summary：

【要約】1又はそれ以上の表面改質成分の存在下、1又はそれ以上の溶媒中のインジウム化合物及びスズ化合物の溶液よりインジウムスズ酸化物前駆体を沈殿させ、得られた粉末から該溶媒を除去し、次にこれをカ焼し、1又はそれ以上の表面改質成分および1又はそれ以上の溶媒を加え、得られた混合物を粉砕或いは分散処理に供してサスペンションを生成し、すべての液体成分を該サスペンションから分離し、粉末を得る方法により、インジウムスズ酸化物に基づくサスペンション及び粉末を調製する。所望であれば、得られた粉末を成形工程により成形体に変換してもよい。このようにして調製されたインジウムスズ酸化物材料は、マイクロエレクトロニクス及びオプトエレクトロニクスにおける使用のためのコーティング材として特に適する。

Claim (excerpt)：

インジウムスズ酸化物に基づくサスペンション及び粉末の調製方法であって、a)1又はそれ以上の表面改質成分の存在下、1又はそれ以上の溶媒中のインジウム化合物及びスズ化合物の溶液よりインジウムスズ酸化物前駆体を沈殿させ、b)得られた粉末から該溶媒を除去し、次にこれをカ焼し、c)1又はそれ以上の表面改質成分および1又はそれ以上の溶媒を加え、d)得られた混合物を粉砕或いは分散処理に供してサスペンションを生成し、e)すべての液体成分を該サスペンションから分離し、粉末を得ることを特徴とする方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (7)

ITO焼結体の製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-295379 Applicant：東ソー株式会社
ITOの原料粉と焼結体およびそれらの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-320352 Applicant：同和鉱業株式会社
ITO焼結体の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-072312 Applicant：三菱マテリアル株式会社

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Cited by examiner (8)

高強度を有するITO薄膜形成用スパッタリングターゲット材の製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-312450 Applicant：三菱マテリアル株式会社
特開昭60-186416
ITO焼結体の製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-295379 Applicant：東ソー株式会社

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