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J-GLOBAL ID：200903097768304261
カーボンナノ構造の製造装置およびその製造方法
Inventor：
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,
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
岡田 和秀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004071437
Publication number (International publication number)：2005255492
Application date： Mar. 12, 2004
Publication date： Sep. 22, 2005
Summary：
【課題】 カーボンナノ構造の製造装置およびその製造方法に関し、基板上に垂直配向で、かつ長尺のカーボンナノチューブあるいはカーボンナノファイバーを形成する。【解決手段】 真空排気手段12にて真空排気してなる真空室11を内部に形成した管体10と、管体10に設けられ真空室11内に炭素系ガスを供給するガス導入手段13と、管体10に設けられ真空室11内を加熱する電気炉14と、真空室11内に設けられプラズマ放電する平行平板電極15,16とを備えたカーボンナノ構造の製造装置であって、平行平板電極15,16の一方にカーボンナノ構造を形成する基板を配置して、両電極15,16間にパルス電圧を印加することにより、基板上にカーボンナノ構造を形成するものである。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
真空排気手段にて真空排気してなる真空室を内部に形成した管体と、前記管体に設けられ前記真空室内に炭素系ガスを供給するガス導入手段と、前記管体に設けられ前記真空室内を加熱する加熱手段と、前記真空室内に設けられプラズマ放電する平行平板電極とを備えたカーボンナノ構造の製造装置であって、
前記平行平板電極の一方にカーボンナノ構造を形成する基板を配置して、両電極間にパルス電圧を印加することにより、前記基板上にカーボンナノ構造を形成することを特徴とするカーボンナノ構造の製造装置。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (9)：
4G146AA11
, 4G146AC03B
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BC09
, 4G146BC16
, 4G146BC27
, 4G146BC33B
, 4G146DA12
Cited by applicant (1)
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垂直配向カーボンナノチューブの作製方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平11-221708
Applicant：日本真空技術株式会社
Cited by examiner (6)
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垂直配向カーボンナノチューブの作製方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平11-221708
Applicant：日本真空技術株式会社
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プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2002-218838
Applicant：松下電工株式会社
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表面処理装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平10-194674
Applicant：株式会社小松製作所
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