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J-GLOBAL ID:200903097780101236
油回転ポンプ
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
,
Agent (1):
福森 久夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997284145
Publication number (International publication number):1998227290
Application date: Oct. 16, 1997
Publication date: Aug. 25, 1998
Summary:
【要約】【課題】 本発明は、稼働している油回転ポンプの油中に含まれた、気体成分、金属片などの異物、又は/及び水分を取り除くことにより、広範囲な圧力範囲で高い排気速度を有する油回転ポンプを提供する。【解決手段】 本発明の油回転ポンプは、油が供給されたシリンダの内部をロータが回転する構造体をケースに内蔵した油回転ポンプにおいて、前記シリンダの外部に油の循環機構を有し、前記循環機構が、油の循環用ポンプと、脱気モジュールと、脱気モニタにより構成されていることを特徴とする。また、前記循環機構は、フィルタや熱交換装置を有することを特徴とする。
Claim (excerpt):
油が供給されたシリンダの内部をロータが回転する構造体をケースに内蔵した油回転ポンプにおいて、前記シリンダの外部に油の循環機構を有し、前記循環機構が、油の循環用ポンプと、脱気モジュールと、脱気モニタにより構成されていることを特徴とする油回転ポンプ。
IPC (2):
FI (3):
F04C 25/02 E
, F04C 25/02 M
, F04C 18/16 C
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (9)
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メカニカルポンプ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-315524
Applicant:大亜真空株式会社
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オイル循環型メカニカルポンプ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-315523
Applicant:大亜真空株式会社
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特開昭62-007408
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特開昭60-051511
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特開昭59-230602
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真空排気装置、半導体製造装置及び真空処理方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-126271
Applicant:大見忠弘
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真空排気管路における油蒸気逆流防止装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-354239
Applicant:日本真空技術株式会社
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特開平1-219367
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特開昭60-025515
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