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J-GLOBAL ID:200903097933044750
ダイヤモンド被覆電極及びその製造方法
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (4):
酒井 正己
, 加々美 紀雄
, 小松 純
, 小松 秀岳
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004341971
Publication number (International publication number):2006152338
Application date: Nov. 26, 2004
Publication date: Jun. 15, 2006
Summary:
【課題】 十分に抵抗が低く、且つダイヤモンドの膜質を悪くせず、ダイヤモンド膜と基板間の膜密着力、電解耐剥離性が強いダイヤモンド被覆電極、およびその製造方法を提供する。【解決手段】 基板上に導電性ダイヤモンドの層を被覆した電極であって、前記基板が絶縁体によって形成されており、ダイヤモンド中のホウ素濃度が100〜10000ppmであり、タングステン濃度が、1〜100000ppmであることを特徴とするダイヤモンド被覆電極。【選択図】 なし
Claim (excerpt):
基板上に導電性ダイヤモンドの層を被覆した電極であって、前記基板が絶縁体によって形成されており、ダイヤモンド中のホウ素濃度が100〜10000ppmであり、タングステン濃度が、1〜100000ppmであることを特徴とするダイヤモンド被覆電極。
IPC (4):
C25B 11/06
, C25B 11/04
, C25B 11/12
, C02F 1/461
FI (4):
C25B11/06 Z
, C25B11/04 A
, C25B11/12
, C02F1/46 101C
F-Term (10):
4D061DA08
, 4D061DB19
, 4D061DC10
, 4D061EA03
, 4D061EB02
, 4D061EB04
, 4D061EB31
, 4K011AA20
, 4K011AA66
, 4K011DA11
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
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ダイヤモンド層で被覆された電極およびその製造法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-074507
Applicant:ビーエーエスエフアクチェンゲゼルシャフト
-
ダイヤモンド電極
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-163561
Applicant:株式会社神戸製鋼所
Cited by examiner (6)
-
機能水、その製造方法及び製造装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-099553
Applicant:ワッカー・エヌエスシーイー株式会社, 株式会社ピュアトロン, ペルメレック電極株式会社
-
電解フッ素化反応用電極と有機電解フッ素化方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-004677
Applicant:科学技術振興事業団
-
特開平4-254496
-
ウエハ-及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-162927
Applicant:住友電気工業株式会社
-
導電性ダイヤモンド及び導電性ダイヤモンド形成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-183292
Applicant:住友電気工業株式会社
-
特開平4-254496
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