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J-GLOBAL ID：200903098045733713

表面検査装置

Inventor：
佐藤 立美

About 佐藤 立美

, 
千秋 謙三

About 千秋 謙三


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (2)： 渡辺 隆男 ,  大澤 圭司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005070454
Publication number (International publication number)：2006250843
Application date： Mar. 14, 2005
Publication date： Sep. 21, 2006
Summary：
【課題】照明光を短波長化しないで、繰り返しピッチの微細化に対応できる検査装置を提供する。【解決手段】被検査基板20を照明するための発散光束を射出する光源手段Lsと、発散光束を、その光束の主光線が所定の入射角を有するように入射して、被検基板に導く照射部材35と、被検基板からの光を集光し、被検基板の像を結像する結像手段36、37と、結像された像を撮像する撮像手段39と、光源手段から照射部材に至る光路中に設けられた第1の偏光板34と、結像手段から撮像手段に至る光路中に設けられた第2の偏光板38と、第1の偏光板と第2の偏光板との少なくとも一方を光軸と垂直な面内で回動させる回動手段と、回動手段による複数の回動位置における撮像手段により得られる画像により被検査基板の表面の欠陥を検出する検出手段15とを備える。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
被検査基板を照明するための発散光束を射出する光源手段と、 前記発散光束を、その光束の主光線が所定の入射角を有するように入射して、前記被検基板に導く照射部材と、 前記被検基板からの光を集光し、前記被検基板の像を結像する結像手段と、 前記結像された像を撮像する撮像手段と、 前記光源手段から前記照射部材に至る光路中に設けられた第1の偏光板と、 前記結像手段から前記撮像手段に至る光路中に設けられた第2の偏光板と、 前記第1の偏光板と前記第2の偏光板との少なくとも一方を光軸と垂直な面内で回動させる回動手段と、 前記回動手段による複数の回動位置における前記撮像手段により得られる画像により前記被検査基板の表面の欠陥を検出する検出手段と を備えたことを特徴とする表面検査装置。
IPC (3)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  H01L 21/66
FI (3)：
G01N21/956 A ,  G01B11/30 A ,  H01L21/66 J
F-Term (44)：
2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065BB28 ,  2F065CC19 ,  2F065FF49 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065HH03 ,  2F065HH09 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL19 ,  2F065LL22 ,  2F065LL25 ,  2F065LL33 ,  2F065LL34 ,  2F065PP12 ,  2F065RR06 ,  2F065TT02 ,  2F065TT08 ,  2F065UU07 ,  2G051AA51 ,  2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051BA20 ,  2G051BB07 ,  2G051BB11 ,  2G051BB17 ,  2G051BB20 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CC11 ,  2G051CC20 ,  2G051DA08 ,  2G051EB01 ,  4M106AA01 ,  4M106CA39 ,  4M106DB14 ,  4M106DB19 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ06
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (6)
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Cited by examiner (6)
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