単結晶および単結晶の製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：細田益稔 , 青木純雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004340614
Publication number (International publication number)：2005239535
Application date： Nov. 25, 2004
Publication date： Sep. 08, 2005
Summary：

【課題】マイクロ引き下げ法により、組成変動が少なく、高周波発生素子製造の際の歩留りを高くできる好適な酸化物あるいはフッ化物単結晶を量産可能とする製造方法を提供する。【解決手段】ノズル部13を備えたルツボ7内で単結晶の原料を溶融させ、溶融物18に対して種結晶を接触させ、溶融物をノズルの開口13から引き下げることによって単結晶を育成する。種結晶の中心軸Cをノズルの開口の中心軸Nから離間した状態で、溶融物18を引き下げる。あるいは、種結晶をノズルの開口に対して周期運動させながら溶融物18を引き下げる。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

ノズル部を備えたルツボ内で単結晶の原料を溶融させ、この溶融物に対して種結晶を接触させ、前記溶融物を前記ノズルの開口から引き下げることによって前記単結晶を育成する単結晶の製造方法であって、前記種結晶の中心軸を前記ノズルの前記開口の中心軸から離間した状態で、前記溶融物を引き下げることを特徴とする、単結晶の製造方法。

IPC (4)：

C30B15/08 , C30B29/12 , C30B29/30 , G02F1/37

FI (4)：

C30B15/08 , C30B29/12 , C30B29/30 , G02F1/37

F-Term (21)：

2K002AB12 , 2K002BA01 , 2K002CA02 , 2K002FA11 , 4G077AA02 , 4G077AB04 , 4G077BC02 , 4G077BC08 , 4G077BC24 , 4G077BC32 , 4G077BC33 , 4G077BC37 , 4G077BC38 , 4G077BC40 , 4G077CF01 , 4G077CF02 , 4G077EG11 , 4G077EG12 , 4G077HA02 , 4G077PC02 , 4G077PH01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

酸化物単結晶の製造方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-029078 Applicant：日本碍子株式会社
酸化物単結晶の製造方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-056173 Applicant：日本碍子株式会社

Cited by examiner (4)

単結晶膜の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-145613 Applicant：日本碍子株式会社
酸化物単結晶の製造方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-029078 Applicant：日本碍子株式会社
らせん状単結晶の製造方法並びにその製造装置及びるつぼ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-281991 Applicant：三菱マテリアル株式会社

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