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J-GLOBAL ID:200903098710287924
プラズマ発生電極装置およびプラズマ発生装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
杉村 暁秀 (外8名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998135328
Publication number (International publication number):1999026192
Application date: Jun. 30, 1995
Publication date: Jan. 29, 1999
Summary:
【要約】【課題】発生したプラズマに対して十分な耐蝕性を備え、プラズマシースを安定に生成させ、エッチング、CVD、PVD等の各処理を、サセプターの全面にわたって安定に実施できるようなプラズマ発生電極装置を提供する。【解決手段】緻密質セラミックスからなる基体1と、基体1中に埋設された電極9とを備えており、電極9と基体1のプラズマ発生側の表面1aとの間に存在する電磁波透過層4の厚さの最小値が0.1mm以上である。好ましくは、電磁波透過層4の厚さの平均値が0.5mm以上であり、電磁波透過層4の厚さの平均値が5.0mm以下であり、電極9が金属バルク体からなる面状の電極であり、電極を包囲する基体1が、接合面のない一体焼結品である。
Claim (excerpt):
緻密質セラミックスからなる基体と、この基体中に埋設された電極とを備えているプラズマ発生電極装置であって、この電極と前記基体のプラズマ発生側の表面との間に存在する電磁波透過層の厚さの最小値が0.1mm以上であることを特徴とする、プラズマ発生電極装置。
IPC (5):
H05H 1/46
, C23C 16/50
, C23F 4/00
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
FI (6):
H05H 1/46 M
, H05H 1/46 L
, C23C 16/50
, C23F 4/00 A
, H01L 21/205
, H01L 21/302 B
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (9)
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セラミックスヒーター
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-302351
Applicant:日本碍子株式会社
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特開平4-282590
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耐蝕性部材
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-058727
Applicant:日本碍子株式会社
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プラズマ処理装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-079803
Applicant:キヤノン株式会社
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特開平4-285073
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静電チャック
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-322078
Applicant:京セラ株式会社
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耐蝕性部材
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-317224
Applicant:日本碍子株式会社
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特開平4-282590
-
特開平4-285073
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