感光性樹脂組成物

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：前田均 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001100586
Publication number (International publication number)：2002296780
Application date： Mar. 30, 2001
Publication date： Oct. 09, 2002
Summary：

【要約】【課題】平坦性、耐熱性、透明性、耐薬品性等の諸性能に優れるとともに、脱ガス性が良く、低誘電性に優れ、微細なパターン状硬化膜を容易に形成することができる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】環状オレフィン系重合体と、溶解制御剤と、光酸発生剤と、架橋剤とを含有する感光性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

環状オレフィン系重合体と、溶解制御剤と、光酸発生剤と、架橋剤とを含有する感光性樹脂組成物。

IPC (7)：

G03F 7/039 601 , C08K 5/00 , C08L 45/00 , C08L 65/00 , C08L101/02 , G03F 7/40 501 , H01L 21/027

FI (7)：

G03F 7/039 601 , C08K 5/00 , C08L 45/00 , C08L 65/00 , C08L101/02 , G03F 7/40 501 , H01L 21/30 502 R

F-Term (66)：

2H025AA00 , 2H025AA06 , 2H025AA07 , 2H025AA08 , 2H025AA10 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BC51 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB08 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H096BA11 , 2H096BA20 , 2H096EA02 , 2H096FA01 , 2H096GA08 , 2H096HA01 , 4J002BC022 , 4J002BC122 , 4J002BG012 , 4J002BG072 , 4J002BH022 , 4J002BK001 , 4J002BK002 , 4J002CD003 , 4J002CE001 , 4J002CK023 , 4J002EA048 , 4J002ED056 , 4J002EE036 , 4J002EH007 , 4J002EH078 , 4J002EH126 , 4J002EL028 , 4J002EN137 , 4J002EP007 , 4J002EQ017 , 4J002ER008 , 4J002EU198 , 4J002EV066 , 4J002EV076 , 4J002EV196 , 4J002EV216 , 4J002EV217 , 4J002EV237 , 4J002EV297 , 4J002EW177 , 4J002FD143 , 4J002FD148 , 4J002FD202 , 4J002FD206 , 4J002FD207 , 4J002FD310 , 4J002GP03 , 4J002GQ00 , 4J002GQ01 , 4J002GQ05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-211096 Applicant：ジェイエスアール株式会社
感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-115846 Applicant：ジェイエスアール株式会社
環状オレフィン樹脂組成物およびその架橋物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-179435 Applicant：日本ゼオン株式会社

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