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J-GLOBAL ID：201002231209560202   Reference number：10A0660582

Annealing Effect on the Nanostructure of TiO₂ Sputtered Film and H₂ Sensing Property

スパッタ法で作製した酸化チタン薄膜の微細構造における熱処理効果と水素検出特性

Author (3)： NAGATA YASUHIKO (富山大学大学院理工学研究部) ,  YAMAZAKI TOSHINARI (富山大学大学院理工学研究部) ,  KIKUTA TOSHIO (富山大学大学院理工学研究部)
Material： Journal of the Vacuum Society of Japan  (真空)
Volume： 53  Issue： 5  Page： 353-356 (J-STAGE)  Publication year： 2010 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 1882-2398  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *sputtered deposition ,  *titanium oxide ,  *evaporated film ,  magnetron sputtering ,  heat treatment ,  *gas sensor ,  pressure effect ,  *porosity (property) ,  temperature dependence ,  *hydrogen gas sensor

JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Analytical instruments  (CC02020S)

Reference (15)：

• 1) T. Yamazaki, C. Jin, A. Nakayama, K. Ito, T. Yoshizawa, T. Kikuta, N. Nakatani and T. Yamabuchi: Jpn. J. Appl. Phys., 44 (2005) 792.
• 2) T. Yamazaki, T. Furuta, Y. Shen, C. Jin, T. Kikuta and N. Nakatani: Jpn. J. Appl. Phys., 45 (2006) 9180.
• 3) Y. Shen, T. Yamazaki, Z. Liu, C. Jin, T. Kikuta and N. Nakatani: Thin Solid Films, 516 (2008) 5111.
• 4) T. Yamazaki, H. Okumura, C. Jin, A. Nakayama, T. Kikuta and N. Nakatani: Vacuum, 77 (2005) 237.
• 5) Y. Jun, H. Kim, J. Lee and S. Hong: Sens. Actuator B, 120 (2006) 69.

Terms in the title (6)： スパッタ法 ,  作製 ,  酸化チタン薄膜 ,  微細構造 ,  熱処理 ,  水素