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J-GLOBAL ID：201003015593858387

移動体装置、露光装置、及びデバイス製造方法

Inventor：
青木 保夫

About 青木 保夫


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 立石 篤司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010045208
Publication number (International publication number)：2010206205
Application date： Mar. 02, 2010
Publication date： Sep. 16, 2010
Summary：
【課題】移動体を二次元平面に沿って精度良く案内すること。【解決手段】 液晶露光装置では、2つの定盤12A,12B上にそれぞれベースパッド72A、72Bが配置され、且つベースパッド72A、72Bにより一枚のステップボード71が支持される。自重キャンセル装置40の装置本体60は、ステップボード71上を移動することによって、定盤12A上から定盤12B上に(又はその反対に)移動するので、分離して配置された隣接する定盤12Aと定盤12Bとの境界部は、自重キャンセル装置40が移動する際のガイド面として機能することがない。従って、2つの定盤12A,12Bを離間させて配置したにも関わらず、基板Pを保持する微動ステージ21をXY平面に沿って精度良く案内することができる。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
互いに直交する第1軸及び第2軸を含む二次元平面に平行なガイド面をそれぞれ有し、前記第1軸に平行な方向に所定間隔で配置された複数の定盤と; 前記複数の定盤上を前記二次元平面に平行な平面に沿って移動可能な第1移動体と; 前記第1移動体の自重を支持し、前記第1移動体と共に前記複数の定盤上を前記二次元平面に平行な面内で移動する第1支持部材と; 前記第1支持部材を前記第1軸に平行な方向に相対移動可能に支持する第2支持部材と; 前記複数の定盤それぞれに対応して配置され、前記第2支持部材を前記複数の定盤間に渡された状態で支持する複数の第3支持部材と;を備える移動体装置。
IPC (3)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/68
FI (3)：
H01L21/30 515G ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/68 K
F-Term (28)：
2H097BA10 ,  2H097LA11 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA13 ,  5F031HA16 ,  5F031HA53 ,  5F031HA57 ,  5F031JA02 ,  5F031JA06 ,  5F031JA14 ,  5F031JA19 ,  5F031JA22 ,  5F031JA27 ,  5F031JA32 ,  5F031KA06 ,  5F031KA18 ,  5F031LA03 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F031NA05 ,  5F031PA16 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC19 ,  5F046CC20
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (4)
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