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J-GLOBAL ID：200903017271053792

ステージ装置及び露光装置

Inventor：
青木 保夫

About 青木 保夫


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (4)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004271632
Publication number (International publication number)：2006086442
Application date： Sep. 17, 2004
Publication date： Mar. 30, 2006
Summary：
【課題】 基板が大型化しても制御性の劣化を防止し、基板を所望状態で移動することができるステージ装置を提供する。【解決手段】 ステージ装置PSTは、基板Pを保持する基板ホルダPHをXY方向に移動させる第1ステージ100と、第1ステージ100とは別に設けられ、第1ステージ100の移動に伴ってXY方向に移動するとともに、基板ホルダPHのZ方向に作用する力を支持する第2ステージ200と、第1ステージ100と基板ホルダPHとを、Z方向に関して相対的に移動可能に連結する連結部Cとを備えている。【選択図】 図3
Claim (excerpt)：
基板を保持する基板ホルダを移動可能に支持するステージ装置において、 前記基板ホルダを水平面内の少なくとも一方向に移動させる第1ステージと、 前記第1ステージとは別に設けられ、前記第1ステージの移動に伴って前記水平面内の少なくとも一方向に移動するとともに、前記基板ホルダの前記水平面と交差する方向に作用する力を支持する第2ステージと、 前記第1ステージと前記基板ホルダ又は前記第2ステージとを、前記水平面と交差する方向に関して相対的に移動可能に連結する連結部とを備えたことを特徴とするステージ装置。
IPC (3)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/68
FI (4)：
H01L21/30 503A ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/68 K ,  H01L21/30 503F
F-Term (17)：
2H097DA07 ,  2H097GA45 ,  2H097GB02 ,  2H097LA12 ,  5F031CA05 ,  5F031HA57 ,  5F031LA01 ,  5F031LA02 ,  5F031LA06 ,  5F031PA18 ,  5F046AA23 ,  5F046BA02 ,  5F046BA03 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC13
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (5)
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