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J-GLOBAL ID：201003047746295343

対象物の変位測定装置及び方法

Inventor：
森田 洋

About 森田 洋

, 
加藤 敦

About 加藤 敦


Applicant, Patent owner：
住友重機械工業株式会社

About 住友重機械工業株式会社


Agent (3)： 高橋 敬四郎 ,  来山 幹雄 ,  鵜飼 伸一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008322511
Publication number (International publication number)：2010145231
Application date： Dec. 18, 2008
Publication date： Jul. 01, 2010
Summary：
【課題】 カメラでマークの位置の変位の時刻暦を測定すると、測定期間中にカメラ自体が変位した場合に、測定結果に誤差が重畳される。【解決手段】 観測装置が、測定対象マーク及び基準マークを撮像し、画像データを取得する。観測装置で取得された画像データが制御装置に入力される。制御装置は、画像データから測定対象マーク及び基準マークの位置情報を算出する。さらに、測定対象マークの異なる時刻における位置情報から、測定対象マークの変位量を算出し、基準マークの異なる時刻における位置情報から、観測装置の変位量を算出し、観測装置の変位量に基づいて、測定対象マークの変位量を補正する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
測定対象マーク及び基準マークを撮像し、画像データを取得する観測装置と、 前記観測装置で取得された画像データが入力され、該画像データから前記測定対象マーク及び前記基準マークの位置情報を算出する制御装置と、 を有し、 前記制御装置は、 前記測定対象マークの異なる時刻における位置情報から、該測定対象マークの変位量を算出し、 前記基準マークの異なる時刻における位置情報から、前記観測装置の変位量を算出し、 前記観測装置の変位量に基づいて、前記測定対象マークの変位量を補正する変位測定装置。
IPC (2)：
G01B 11/00 ,  G06T 1/00
FI (2)：
G01B11/00 H ,  G06T1/00 315
F-Term (23)：
2F065AA04 ,  2F065AA09 ,  2F065AA17 ,  2F065AA31 ,  2F065AA65 ,  2F065BB27 ,  2F065FF04 ,  2F065FF31 ,  2F065FF61 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ34 ,  5B057AA02 ,  5B057DA20 ,  5B057DB03 ,  5B057DC05 ,  5B057DC08 ,  5B057DC09 ,  5B057DC30
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (9)
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