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J-GLOBAL ID：201102286192515956   Reference number：11A1431671

Reflection Characteristics of Fine Protrusions Formed by Sputter Etching of Tool Steels

工具鋼のスパッタエッチングによって形成した微細突起物の光反射特性

Author (4)： NAKASA KEIJIRO (広島国際学院大学工学部総合工学科) ,  KATO MASAHIKO (広島大学大学院工学研究科機械物理工学専攻) ,  KUBO TAKASHI (広島国際学院大学工学部総合工学科) ,  YAMAMOTO AKIHIRO (株式会社ヤマトメック研究開発室)
Material： 日本金属学会誌  (Journal of the Japan Institute of Metals and Materials)
Volume： 75  Issue： 9  Page： 502-508 (J-STAGE)  Publication year： 2011 
JST Material Number： G0023A  ISSN： 0021-4876  CODEN： NIKGAV  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *surface treatment ,  ion etching ,  Argon ,  sputtering ,  *tool steel ,  high speed steel ,  high alloy steel ,  high carbon alloy steel ,  medium carbon alloy steel ,  surface structure ,  *optical property ,  optical reflection ,  reflectivity ,  optical absorption ,  visible light ,  projection portion ,  spectrophotometer ,  magnetron sputtering ,  scanning electron microscope ,  angle of incidence ,  angular dependence ,  SKH51 ,  SKD61 ,  surface morphology ,  structure
Semi thesaurus term： SKD5

JST classification (2)： Vapor plating  (WC08022K) ,  Other physical and mechanical properties  (WB02040F)

Reference (39)：

• 1) W. Chen and H. Ahmed: Appl. Phy. Lett. 63(1993) 1116-1118.
• 2) A. G. Nassiopoulos, S. Grigoropoulos and D. Papadimitriou: Appl. Phy. Lett. 69(1996) 2267-2269.
• 3) V. V. Poborchii, T. Tada and T. Kanayama: Appl. Phy. Lett. 75(1999) 3276-3278.
• 4) L. W. Rangelow and St. Biehl: J. Vac. Sci. Technol. B 19(2001) 916-919.
• 5) K. Seeger and R. E. Palmer: Appl. Phy. Lett. 74(1999) 1627-1629.

Terms in the title (3)： 工具鋼 ,  スパッタエッチング ,  反射特性