Pat
J-GLOBAL ID：201103005383173936

検査装置、検査方法および検査プログラム

Inventor：
中原徳雄

About 中原徳雄

, 
石井寛明

About 石井寛明


Applicant, Patent owner：
株式会社ニッケ機械製作所

About 株式会社ニッケ機械製作所


Agent (1)： 特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009153271
Publication number (International publication number)：2011007710
Application date： Jun. 29, 2009
Publication date： Jan. 13, 2011
Summary：
【課題】複数の突起部を有する検査対象物を迅速に検査する。【解決手段】検査装置は、検査対象物A載せる透明なテーブル12と、テーブル12の下面から光の強度が周期的に変化する光パターンを照射する光照射部と、光パターンが照射された検査対象物Aを、テーブル12の下面から撮影する撮像部22と、検査対象物Aの画像を処理して、検査対象物Aの表面の3次元形状を表す表面形状データを生成する画像処理部103と、表面形状データにより表される検査対象物Aにおける複数の突起部それぞれにおいて、テーブル12の上面に対する位置を示す値の代表値を決定する代表値決定部102と、複数の突起部それぞれにおける代表値の分布が予め設定された基準を満たしているかを判定する判定部101と備える。【選択図】図6
Claim (excerpt)：
少なくとも1方向に並ぶ複数の突起部を備える検査対象物を検査する検査装置であって、 前記検査対象物を載せる透明なテーブルと、 前記テーブルの上面に載せられた前記検査対象物に対して、前記テーブルの下面から光の強度が周期的に変化する光パターンを照射する光照射部と、 前記光パターンが照射された前記検査対象物を、前記テーブルの下面から撮影する撮像部と、 前記撮像部で撮影された前記検査対象物の画像を処理して、前記検査対象物の表面の3次元形状を表す表面形状データを生成する画像処理部と、 前記画像処理部で生成された前記表面形状データにより表される前記検査対象物における前記複数の突起部それぞれにおいて、前記テーブルの上面に対する位置を示す値の代表値を決定する代表値決定部と、 前記複数の突起部それぞれにおける前記代表値の分布が予め設定された基準を満たしているかを判定する判定部と備える、検査装置。
IPC (2)：
G01B 11/25 ,  G01N 21/956
FI (2)：
G01B11/25 H ,  G01N21/956 B
F-Term (42)：
2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065AA22 ,  2F065AA47 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065CC25 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065FF42 ,  2F065GG01 ,  2F065GG02 ,  2F065GG04 ,  2F065GG07 ,  2F065HH06 ,  2F065HH13 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL59 ,  2F065MM03 ,  2F065NN02 ,  2F065NN05 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ32 ,  2F065RR08 ,  2F065SS04 ,  2F065SS13 ,  2G051AA61 ,  2G051AA62 ,  2G051AB02 ,  2G051AB10 ,  2G051BB07 ,  2G051BB09 ,  2G051CC09 ,  2G051EB01 ,  2G051EB09 ,  2G051ED30
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM