X線発生用ターゲット、X線発生装置、及びX線発生用ターゲットの製造方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (3)：長谷川芳樹 , 黒木義樹 , 石田悟
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010168460
Publication number (International publication number)：2011077027
Application date： Jul. 27, 2010
Publication date： Apr. 14, 2011
Summary：

【課題】ターゲット部における放熱性の向上が図られたX線発生用ターゲットを提供すること。【解決手段】X線発生用ターゲットT1は、ダイヤモンドからなり、互いに対向する第1及び第2主面1a,1bを有する基板1と、ターゲット部10と、を備えている。基板1には、第1主面1a側から有底状の穴部3が形成されている。ターゲット部10は、穴部3の底面から第1主面1a側に向かって堆積された金属からなる。ターゲット部10の外側面全体は、穴部3の内側面と密着している。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

ダイヤモンドからなり、互いに対向する第1及び第2主面を有すると共に前記第1主面側から有底状の穴部が形成されている基板と、前記穴部の底面から前記第1主面側に向かって堆積された金属からなり、その外側面全体が前記穴部の内側面と密着しているターゲット部と、を備えていることを特徴とするX線発生用ターゲット。

IPC (2)：

H01J 35/08 , H01J 35/14

FI (3)：

H01J35/08 C , H01J35/08 B , H01J35/14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

X線発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-148081 Applicant：住友電気工業株式会社
特開平2-297850
特開昭59-221948

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