超音波検査方法及び超音波検査装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (5)：青木宏義 , 天田昌行 , 岡田喜雅 , 菅野亨 , 溝口勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009203349
Publication number (International publication number)：2011053126
Application date： Sep. 03, 2009
Publication date： Mar. 17, 2011
Summary：

【課題】基台に対する板状部材の接着状態の不良を検査すること。【解決手段】凹部が形成された基台301及びこの基台301の凹部に係合し当該凹部の底面に接着される板状部材を有する保持テーブル3における基台に対する板状部材の接着状態を検査する超音波検査装置1において、基台301の凹部の底面と板状部材302の被接着面との接着部位に超音波を照射し、当該接着部位からの反射エコーを測定し、上記接着部位からの反射エコーを、色情報を有する画像データに変換し、この画像データの色情報に応じて板状部材302の被接着面と基台301の凹部の底面との間の接着状態の不良を判定することを特徴とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

凹部が形成された基台及びこの基台の凹部に係合し当該凹部の底面に接着される板状部材を有する保持テーブルにおける前記基台に対する前記板状部材の接着状態を検査する超音波検査方法であって、前記凹部の底面と前記板状部材の被接着面との接着部位に超音波を照射し、当該接着部位からの反射エコーを測定する超音波測定工程と、前記接着部位からの反射エコーを、色情報を有する画像データに変換する画像処理工程と、前記画像データの色情報に応じて前記被接着面と前記底面との間の接着状態の不良を判定する判定工程とを具備することを特徴とする超音波検査方法。

IPC (1)：

G01N 29/44

FI (1)：

G01N29/22 502

F-Term (17)：

2G047AC10 , 2G047AD19 , 2G047BA03 , 2G047BC03 , 2G047BC09 , 2G047DB03 , 2G047DB12 , 2G047EA08 , 2G047GB25 , 2G047GF06 , 2G047GG01 , 2G047GG33 , 2G047GG34 , 2G047GH06 , 2G047GH13 , 2G047GH14 , 2G047GH17

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

スパッタリング用ターゲットの検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-304494 Applicant：住友化学工業株式会社
超音波映像検査装置および超音波映像検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-106234 Applicant：日立建機株式会社
チャックテーブル
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-128491 Applicant：株式会社ディスコ

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