Pat
J-GLOBAL ID：201103038883350465
インプリントリソグラフィ装置及び方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010176894
Publication number (International publication number)：2011049554
Application date： Aug. 06, 2010
Publication date： Mar. 10, 2011
Summary：
【課題】インプリントテンプレートの表面と、インプリントリソグラフィによって形成された基板上のパターン形成された層との迅速な分離を可能にする。【解決手段】UV硬化性の液状媒体からパターン形成された層を基板上に形成するインプリントリソグラフィ方法は、充填期間Aにわたってパターン形成された表面とUV硬化性の媒体を貼り合わせるステップと、照明期間BにわたってUV硬化性の媒体をUV放射で照明するステップと、UV硬化性の媒体が自己支持型の層を形成するように保持期間Cにわたってパターン形成された表面とUV硬化性の液状媒体とを保持するステップと、保持期間の終了時24にパターン形成された表面とパターン形成された層を分離するステップとを含む。照明期間の開始時間22は、充填期間の終了時間21よりもプリキュア期間Eだけ早い。また、照明期間の終了時間23が保持期間の終了時間24よりも早い方法も開示される。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
凹部を含むパターン形成された表面を有するインプリントテンプレートによってUV硬化性のインプリント可能な液状媒体からパターン形成された層を基板上に形成するインプリントリソグラフィ方法であって、
前記パターン形成された表面が前記UV硬化性のインプリント可能な液状媒体に最初に接触する開始時間と、前記UV硬化性のインプリント可能な液状媒体が前記パターン形成された表面の凹部を実質的に充填した終了時間とを有する充填期間にわたって、前記パターン形成された表面と未硬化の流動可能な液体としての前記UV硬化性のインプリント可能な液状媒体とを貼り合わせるステップと、
開始時間と終了時間とを有する照明期間にわたって前記UV硬化性のインプリント可能な液状媒体をUV放射で照明するステップと、
開始時間と終了時間とを有する保持期間であって、前記保持期間の開始時間が前記充填期間の終了時間に開始し、前記UV硬化性のインプリント可能な液状媒体を適切に硬化させて自己支持型のパターン形成された層を形成するように前記保持期間の終了時間が選択される保持期間にわたって、前記パターン形成された表面と前記UV硬化性のインプリント可能な液状媒体とを貼り合わせた状態に保持するステップと、
前記保持期間の終了時間に前記パターン形成された表面と前記パターン形成された層とを分離するステップとを含み、
前記照明期間の開始時間が、前記充填期間の終了時間よりもプリキュア期間だけ早い方法。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L21/30 502D
, B29C59/02 Z
4F209AA43
, 4F209AA44
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AP10
, 4F209AR11
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PN13
, 4F209PQ11
, 5F046AA28
Cited by examiner (6)
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