多分割STEM検出器の調整方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (5)：三好秀和 , 岩▲崎▼ 幸邦 , 伊藤正和 , 高橋俊一 , 高松俊雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010116906
Publication number (International publication number)：2011243516
Application date： May. 21, 2010
Publication date： Dec. 01, 2011
Summary：

【課題】多分割STEM検出器のゲイン及びオフセット調整を精度良く、且つ容易に実行する。【解決手段】走査透過電子顕微鏡の光軸上に配置された円状のシンチレータ601の検出面DF全体に電流密度が均一な電子線を照射し、各光電子増倍管603が、シンチレータ601から出力される光を光ファイバ束602を介して受光し、各光電子増倍管603から出力される検出信号の強度を測定し、各光電子増倍管603から出力される検出信号の強度が、シンチレータ601の検出面DFを動径方向及び偏角方向に分割された各検出領域DRの面積に比例するように、検出領域DR毎に多分割STEM検出器のゲイン及びオフセットを調整する。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

走査透過電子顕微鏡の光軸上に配置された円状のシンチレータと、当該シンチレータから出力される光が入射される複数の光ファイバからなる光ファイバ束と、前記光ファイバ束を介して前記シンチレータから出力される光を受光する複数の光電子増倍管とを備え、前記シンチレータの検出面は、その動径方向及び偏角方向に複数の検出領域に分割され、且つ、前記複数の光電子増倍管は、前記検出領域毎に、前記シンチレータから出力される光を受光する多分割STEM検出器の調整方法であって、前記シンチレータの検出面全体に電流密度が均一な電子線を照射し、前記電子線の照射によって各光電子増倍管から出力される検出信号の強度を測定し、前記各光電子増倍管から出力される検出信号の強度が、前記検出領域の面積に比例するように、前記検出領域毎に前記多分割STEM検出器のゲイン及びオフセットを調整することを特徴とする多分割STEM検出器の調整方法。

IPC (1)：

H01J 37/244

FI (1)：

H01J37/244

F-Term (4)：

5C033NN03 , 5C033NP02 , 5C033NP06 , 5C033NP08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

分割型検出器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-268590 Applicant：株式会社日立製作所
2次荷電粒子検出方法及びそのシステム並びにイオンビーム加工装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-092145 Applicant：株式会社日立製作所
特開平1-097353

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