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J-GLOBAL ID：201103056782359729

圧電体素子およびインクジェット式記録ヘッド

Inventor： 島田 勝人 ,  亀井 宏行 ,  高橋 哲司 ,  邱 宏
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (3)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010263546
Publication number (International publication number)：2011109112
Application date： Nov. 26, 2010
Publication date： Jun. 02, 2011
Summary：

【課題】製造中に膜内にクラックの発生がなく、高い圧電ひずみ定数を有し、下電極との密着性が良い圧電体薄膜素子、および、この圧電体薄膜素子を用いた高精細な印字が可能となるインクジェット記録ヘッドを提供する。【解決手段】多結晶体からなる圧電体膜11Aと、この圧電体膜11Aを挟んで配置される上電極16と下電極12と、を備えた圧電体薄膜素子であって、圧電体膜の結晶体11Aが、電極面に対して略垂直方向に形成される。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

下電極、圧電体膜および上電極を有する圧電体素子であって、 前記下電極が、プラチナと、前記圧電体膜を構成する金属元素の酸化物と、を含むことを特徴とする圧電体素子。

IPC (8)：

H01L 41/09 ,  H01L 41/24 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  C23C 14/34 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (8)：

H01L41/08 L ,  H01L41/08 C ,  H01L41/22 A ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z ,  C23C14/34 N ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H

F-Term (18)：

2C057AF93 ,  2C057AG44 ,  2C057AP14 ,  2C057AP54 ,  2C057AP57 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029BA43 ,  4K029BB07 ,  4K029CA05 ,  4K029DA08 ,  4K029DC05 ,  4K029DC35 ,  4K029DC39 ,  4K029FA07 ,  4K029GA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 圧電/電歪膜型素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-037160   Applicant：日本碍子株式会社
• 圧電素子用導電性ペースト
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-277153   Applicant：トヨタ自動車株式会社
• 誘電体キャパシタおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-004463   Applicant：ローム株式会社
• カンチレバー型変位素子、及びこれを用いたカンチレバー型プローブ、及びこのカンチレバー型プローブを用いた走査型トンネル顕微鏡、情報処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-129336   Applicant：キヤノン株式会社
• 特開平4-005874
  
• 強誘電体薄膜及びその作製方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-087894   Applicant：株式会社リコー