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J-GLOBAL ID：201103084483903556

ウェーハ欠陥検査装置及びウェーハ欠陥検査方法

Inventor：
林 真司

About 林 真司


Applicant, Patent owner：
株式会社SUMCO

About 株式会社SUMCO


Agent (1)： 特許業務法人ウィルフォート国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010109520
Publication number (International publication number)：2011237302
Application date： May. 11, 2010
Publication date： Nov. 24, 2011
Summary：
【課題】欠陥検査に適したウェーハの画像を効率よく取得できるようにする。【解決手段】受光部2により撮像された検査対象のウェーハWの画像の平均輝度が欠陥検出可能範囲内にあるか否かを判定し、ウェーハWの画像の平均輝度が欠陥検出可能範囲内にないと判定した場合に、ウェーハWを撮像する際の露光時間を変更して、受光部2によりウェーハWの画像を再度取得させる制御処理部6aと、ウェーハWの画像の平均輝度が欠陥検出可能範囲内にあると判定された場合に、当該ウェーハWの画像に基づいて欠陥検査を行う画像処理部6bとを有するように構成する。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
検査対象のウェーハを載置するウェーハ載置手段と、赤外光を前記ウェーハに対して照射する照射手段と、前記赤外光が照射された前記ウェーハを撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像されたウェーハの画像に基づいて前記ウェーハの欠陥を検査する検査手段とを有するウェーハ欠陥検査装置であって、 前記撮像手段により撮像された前記検査対象のウェーハの画像の基準となる輝度が所定の輝度範囲内にあるか否かを判定する判定手段と、 前記ウェーハの画像の基準となる輝度が所定の輝度範囲内にないと判定した場合に、前記ウェーハを撮像する際の露光時間を変更して、前記撮像手段により前記ウェーハの画像を再度取得させる制御手段と を更に有し、 前記検査手段は、前記ウェーハの画像の基準となる輝度が所定の輝度範囲内にあると判定された場合に、当該ウェーハの画像に基づいて欠陥検査を行う ウェーハ欠陥検査装置。
IPC (3)：
G01N 21/956 ,  G01N 21/95 ,  H01L 21/66
FI (4)：
G01N21/956 A ,  G01N21/95 Z ,  H01L21/66 J ,  H01L21/66 N
F-Term (24)：
2G051AA51 ,  2G051AB06 ,  2G051AB07 ,  2G051BA01 ,  2G051BA06 ,  2G051BB03 ,  2G051BB17 ,  2G051CA03 ,  2G051CB02 ,  2G051DA06 ,  2G051EA16 ,  2G051EA24 ,  2G051EC01 ,  4M106AA01 ,  4M106BA08 ,  4M106CA38 ,  4M106CB19 ,  4M106DB02 ,  4M106DB04 ,  4M106DB19 ,  4M106DB20 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ19 ,  4M106DJ38
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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